-
公开(公告)号:CN1692181A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN03815822.1
申请日:2003-05-07
Applicant: 微制造公司
Abstract: 在一些实施例中,从至少一种结构材料(例如,镍)、至少一种牺牲材料(例如,铜)和至少一种密封材料(例如,焊接剂)以电化学方式制造多层结构。在一些实施例中,使该分层结构具有所期望的结构:其至少部分和紧挨地被牺牲材料包围,牺牲材料依次几乎完全被结构材料包围。包围的结构材料包括位于其表面中的开口,穿过开口蚀刻剂能侵蚀和去除在其中所发现的条状的牺牲材料。密封材料位于开口附近。在去除牺牲材料之后,盒子被排空或被用所期望的气体或液体填充。此后,使密封材料流动,密封开口,并重新凝固。在其它实施例中,增加了后层形成盖子或其它屏蔽罩形成结构。