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公开(公告)号：CN114248199B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202111421851.X
申请日：2021-11-26
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司 , 湖北江城实验室
Abstract: 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置，包括具有一定厚度的吸附本体，具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区，下端面作为吸附晶圆的下吸附区；内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽，圆凹槽均与气流通道连通；下吸附区开设有多个吸附孔，吸附孔均与气流通道连通；吸附孔呈同心圆状分布，同一圈上相邻两吸附孔之间的间距相同，且该间距由内圈向外圈梯度递减；下吸附区的边缘处设有密封圈，下端面向下凸出，作为晶圆的定位环，凸出段与下吸附区共同界定形成一用于安装晶圆的空间，凸出段的下端面高于或者持平于晶圆的下端面；密封圈与最外层吸附孔之间设有一隔离槽，隔离槽与气流通道连通。
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公开(公告)号：CN114248199A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111421851.X
申请日：2021-11-26
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司 , 湖北江城实验室
Abstract: 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置，包括具有一定厚度的吸附本体，具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区，下端面作为吸附晶圆的下吸附区；内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽，圆凹槽均与气流通道连通；下吸附区开设有多个吸附孔，吸附孔均与气流通道连通；吸附孔呈同心圆状分布，同一圈上相邻两吸附孔之间的间距相同，且该间距由内圈向外圈梯度递减；下吸附区的边缘处设有密封圈，下端面向下凸出，作为晶圆的定位环，凸出段与下吸附区共同界定形成一用于安装晶圆的空间，凸出段的下端面高于或者持平于晶圆的下端面；密封圈与最外层吸附孔之间设有一隔离槽，隔离槽与气流通道连通。
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公开(公告)号：CN216657548U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202122945408.4
申请日：2021-11-26
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司 , 湖北江城实验室
Abstract: 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置，包括具有一定厚度的吸附本体，具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区，下端面作为吸附晶圆的下吸附区；内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽，圆凹槽均与气流通道连通；下吸附区开设有多个吸附孔，吸附孔均与气流通道连通；吸附孔呈同心圆状分布，同一圈上相邻两吸附孔之间的间距相同，且该间距由内圈向外圈梯度递减；下吸附区的边缘处设有密封圈，下端面向下凸出，作为晶圆的定位环，凸出段与下吸附区共同界定形成一用于安装晶圆的空间，凸出段的下端面高于或者持平于晶圆的下端面；密封圈与最外层吸附孔之间设有一隔离槽，隔离槽与气流通道连通。
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公开(公告)号：CN114042720A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111406238.0
申请日：2021-11-24
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司
IPC: B08B13/00
Abstract: 一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔，其下端面盖设上纱网；第一通孔内设有上直线轴承，包括第一内圈和第一外圈；第一通孔内还嵌有上顶圈，其下端设有第一抵持部；上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板开设第二通孔，其上端面盖设下纱网；第二通孔内设有下直线轴承，包括第二内圈和第二外圈；第二通孔内还嵌有下顶圈，其上端设有第二抵持部；下顶圈与第二通孔螺纹配合。上盖板与下底板相盖合，两纱网临近，形成一用于放置3D MEMS探针网的间隙；上顶圈向下旋动，带动第一内圈与上纱网抵持，使所述上纱网绷紧；下顶圈向上旋动，带动第二内圈与下纱网抵持，使所述下纱网绷紧。
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公开(公告)号：CN216705394U
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202122908830.2
申请日：2021-11-24
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司
IPC: B08B13/00
Abstract: 一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔，其下端面盖设上纱网；第一通孔内设有上直线轴承，包括第一内圈和第一外圈；第一通孔内还嵌有上顶圈，其下端设有第一抵持部；上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板开设第二通孔，其上端面盖设下纱网；第二通孔内设有下直线轴承，包括第二内圈和第二外圈；第二通孔内还嵌有下顶圈，其上端设有第二抵持部；下顶圈与第二通孔螺纹配合。上盖板与下底板相盖合，两纱网临近，形成一用于放置3D MEMS探针网的间隙；上顶圈向下旋动，带动第一内圈与上纱网抵持，使所述上纱网绷紧；下顶圈向上旋动，带动第二内圈与下纱网抵持，使所述下纱网绷紧。
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公开(公告)号：CN216670053U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202122907502.0
申请日：2021-11-24
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司
Abstract: 一种用于3D MEMS探针检测工序的固定装置，包括二维角位台，二维角位台包括相互叠置的x轴角位台和y轴角位台，且x轴角位台的台面绕y轴旋转发生角位移，y轴角位台的台面绕x轴发生角位移，以实现二维角度调节。二维角位台上叠置有一翻转台，该翻转台设有第一定位面；翻转台上固定有一磁铁，磁铁上具有一用于吸附3D MEMS探针的承载面，承载面垂直于第一定位面。承载面具有检测和上料两个工作状态，翻转台相对二维角位台翻转，构成在两个工作状态间进行切换；在检测状态下，承载面垂直于二维角位台的台面；在上料状态下，承载面面向上方。
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公开(公告)号：CN216718597U
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202122907501.6
申请日：2021-11-24
Applicant: 强一半导体(上海)有限公司
Abstract: 一种用于3D MEMS探针网烘干工序的固定装置，包括：内圈，为圆环状，其外周壁上设有一圈第一凹槽。第一外圈，设有第一缺口构成开环状；内壁上设有第一凸圈，外壁上设有第二凹槽；第一外圈卡套于内圈的外侧，使第一凸圈与第一凹槽卡嵌配合。第一纱布，盖设于内圈的第一端，边缘翻折后夹持定位于第一外圈与内圈之间，以维持第一纱布绷紧状态。第二外圈，设有第二缺口构成开环状；内壁上设有第二凸圈；第二外圈卡套于第一外圈的外侧，使第二凸圈与第二凹槽卡嵌配合。第二纱布，叠置于第一纱布上，且边缘夹持定位于第二外圈与一外圈之间，以维持第二纱布绷紧状态。第一纱布和第二纱布之间形成一用于放置3D MEMS探针网产品的间隙。
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