公开(公告)号：CN120065632A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202311619854.3

申请日：2023-11-29

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 伍艺通 ,  鲁湛 ,  步扬 ,  王成 ,  程静欣 ,  常胜倩 ,  张鹏 ,  程楠 ,  刘方圆

IPC: G03F7/20 ,  G01M11/02 ,  G01N21/01 ,  G01N21/55 ,  G01N21/95

Abstract: 本申请涉及一种粒子束驱动的光源、光刻装置和检测装置。该光源包括：粒子源，用于产生粒子束；聚焦系统，用于使粒子束聚焦并且传输至靶材，其中靶材受到经聚焦的粒子束激发而发出XUV或EUV波段的辐射光束；以及光学模组，用于对辐射光束进行滤波，以输出经滤波的辐射光束。

公开(公告)号：CN118567187A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202310182692.5

申请日：2023-02-28

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 龚爽 ,  吴芳 ,  步扬 ,  鲁湛

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/48

Abstract: 本申请涉及用于激光调制的装置以及用于光刻的系统。该装置(100)包括：微反射镜组(110)，所述微反射镜组(110)包括多个微反射面用于反射激光束，其中至少两个所述微反射面具有不同的倾斜状态；以及驱动机构(120)，所述驱动机构(120)用于驱动所述微反射镜组进入运动状态。