光学检测系统
    1.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220473342U

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202321819594.X

    申请日:2023-07-11

    Abstract: 本实用新型公开了光学检测系统。一种光学检测系统包括扫描台、Wolter镜和探测器。扫描台用于承载待测的样品,并且布置成使样品能够被入射光照射以产生反射光和散射光。Wolter镜布置成使反射光和散射光掠入射到Wolter镜并反射掠入射的光。探测器布置成接收从Wolter镜反射的光。

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