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公开(公告)号:CN220473342U
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202321819594.X
申请日:2023-07-11
Applicant: 张江国家实验室
Inventor: 曾志男 , 张路遥 , 刘人奇
IPC: G01N21/01 , G01N21/88
Abstract: 本实用新型公开了光学检测系统。一种光学检测系统包括扫描台、Wolter镜和探测器。扫描台用于承载待测的样品,并且布置成使样品能够被入射光照射以产生反射光和散射光。Wolter镜布置成使反射光和散射光掠入射到Wolter镜并反射掠入射的光。探测器布置成接收从Wolter镜反射的光。