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公开(公告)号：CN110504150A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910387865.0
申请日：2019-05-10
Applicant: 延世大学校产学协力团
Inventor： 尹日求
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的等离子体工序监控装置包括选择区域透光部及监控部。选择区域透光部以与形成于腔室的视口相向的方式配置，设置有用于选择性地阻隔通过视口发射的等离子光的多个选择性遮光部。监控部通过接收透过多个选择性遮光部中的至少一个的等离子光，来获取等离子光的信息，通过等离子光的信息，来监控形成于腔室内的等离子体的均匀度。等离子体处理装置包括腔室、视口、选择区域透光部以及监控部。腔室用于执行利用等离子体的工序。视口设置于腔室。选择区域透光部以与视口相向的方式配置，设置有用于选择性地阻隔通过视口发射的等离子光的多个选择性遮光部。监控部获取等离子光的信息，监控形成于腔室内的等离子体的均匀度。
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公开(公告)号：CN105824041A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610059086.4
申请日：2016-01-28
Applicant: 延世大学校产学协力团
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0218 , G01J3/0235 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , G01T1/29 , G01T1/00
Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。
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公开(公告)号：CN110504150B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201910387865.0
申请日：2019-05-10
Applicant: 延世大学校产学协力团
Inventor： 尹日求
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的等离子体工序监控装置包括选择区域透光部及监控部。选择区域透光部以与形成于腔室的视口相向的方式配置，设置有用于选择性地阻隔通过视口发射的等离子光的多个选择性遮光部。监控部通过接收透过多个选择性遮光部中的至少一个的等离子光，来获取等离子光的信息，通过等离子光的信息，来监控形成于腔室内的等离子体的均匀度。等离子体处理装置包括腔室、视口、选择区域透光部以及监控部。腔室用于执行利用等离子体的工序。视口设置于腔室。选择区域透光部以与视口相向的方式配置，设置有用于选择性地阻隔通过视口发射的等离子光的多个选择性遮光部。监控部获取等离子光的信息，监控形成于腔室内的等离子体的均匀度。
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公开(公告)号：CN105824041B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610059086.4
申请日：2016-01-28
Applicant: 延世大学校产学协力团
Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。
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