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1.

发明公开
用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列失效

公开(公告)号：CN102089964A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200980120392.2

申请日：2009-04-08

申请人： 康奈尔大学

发明人： A·拉尔 , S·M·阿尔达努克

IPC分类号： H02N6/00

CPC分类号： G02B7/1821 , B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , F24S23/80 , F24S30/452 , F24S2023/85 , G02B7/182 , G02B26/0841 , H01L31/0543 , H01L31/0547 , Y02E10/47 , Y02E10/52

摘要： 一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。

2.

发明授权
用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列失效

公开(公告)号：CN102089964B

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN200980120392.2

申请日：2009-04-08

申请人： 康奈尔大学

发明人： A·拉尔 , S·M·阿尔达努克

IPC分类号： H02N6/00

CPC分类号： G02B7/1821 , B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , F24S23/80 , F24S30/452 , F24S2023/85 , G02B7/182 , G02B26/0841 , H01L31/0543 , H01L31/0547 , Y02E10/47 , Y02E10/52

摘要： 一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。