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公开(公告)号：CN115398594A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180027331.2
申请日：2021-04-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 用于减少远程等离子体源(RPS)中的粒子产生的方法和设备，包括RPS，RPS具有第一等离子体源，第一等离子体源具有第一电极和第二电极，其中第一电极和第二电极关于中空腔对称，第一电极和第二电极经配置以在中空腔内引发中空阴极效应，并且其中RPS经配置以提供自由基或离子进入处理空间内；以及射频(RF)功率源，射频(RF)功率源经配置以在第一电极和第二电极上提供对称驱动波形，以产生RPS的阳极周期和阴极周期，其中阳极周期和阴极周期在中空阴极效应模式中操作。
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