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公开(公告)号:CN103119757B
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201180045205.6
申请日:2011-08-31
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M4/04 , B05C5/02 , B05D1/26 , H01M10/04 , H01M10/052
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M10/0404
Abstract: 在一个实施例中,本发明提供一种用于在柔性导电基板的相对侧上同时沉积阳极活性材料或阴极活性材料的装置。该装置包含腔室主体,腔室主体界定一或更多个处理区域,柔性导电基板在该一或更多个处理区域中曝露于双侧喷洒沉积制程,其中一或更多个处理区域中的每一者进一步分隔为第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域,用于将阳极活性材料或阴极活性材料同时喷洒至柔性导电基板的一部分的相对侧上,其中第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域中的每一者包含喷洒分配器盒及可移动收集挡板,喷洒分配器盒用于向柔性导电基板递送活化材料。
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公开(公告)号:CN103119757A
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201180045205.6
申请日:2011-08-31
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M4/04 , B05C5/02 , B05D1/26 , H01M10/04 , H01M10/052
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M10/0404
Abstract: 在一个实施例中,本发明提供一种用于在柔性导电基板的相对侧上同时沉积阳极活性材料或阴极活性材料的装置。该装置包含腔室主体,腔室主体界定一或更多个处理区域,柔性导电基板在该一或更多个处理区域中曝露于双侧喷洒沉积制程,其中一或更多个处理区域中的每一者进一步分隔为第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域,用于将阳极活性材料或阴极活性材料同时喷洒至柔性导电基板的一部分的相对侧上,其中第一喷洒沉积区域及第二喷洒沉积区域中的每一者包含喷洒分配器盒及可移动收集挡板,喷洒分配器盒用于向柔性导电基板递送活化材料。
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公开(公告)号:CN102449841A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201080025064.7
申请日:2010-06-29
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01M10/0525 , H01B1/02 , C23C14/00 , H01M2/14 , H01M4/04
CPC classification number: H01M4/66 , C25D3/38 , C25D7/0614 , C25D17/00 , H01M2/1653 , H01M2/1673 , H01M4/0438 , H01M4/0452 , H01M4/133 , H01M4/1393 , H01M4/62 , H01M4/661 , H01M4/664 , H01M4/667 , Y02E60/13 , Y02P20/133
Abstract: 提供利用形成三维结构的薄膜沉积处理来制造锂-离子电池的系统与方法。在一个实施例中,提供用来形成能量储存装置的阳极结构。所述阳极结构包括导电基板、形成于基板上的多个导电微结构、形成于导电微结构上的钝化膜、及形成于导电微结构上的绝缘分隔层,其中导电微结构包括柱状凸出部。
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