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发明公开
用于基板处理平台的RF阻抗匹配网络审中-实审

公开(公告)号：CN116918027A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280019045.6

申请日：2022-05-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 郭岳 , K·K·库坦奈尔 , J·于 , K·拉马斯瓦米 , 杨扬

IPC: H01J37/32

Abstract: 本文提供用于处理基板的使用匹配网络的方法和装置。例如，一种被配置为与等离子体处理腔室一起使用的匹配网络，包括：本地控制器，所述本地控制器可连接至等离子体处理腔室的系统控制器；第一电动电容器，所述第一电动电容器连接至本地控制器；第二电动电容器，所述第二电动电容器连接至第一电动电容器；第一传感器和第二传感器，所述第一传感器在匹配网络的输入处，所述第二传感器在匹配网络的输出处，用于分别获得线内RF电压、电流、相位、谐波和阻抗数据；以及以太网控制自动化技术(EtherCAT)通信接口，所述EtherCAT通信接口将本地控制器连接至第一电动电容器、第二电动电容器、第一传感器以及第二传感器。

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