公开(公告)号：CN1577732A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410069788.8

申请日：2004-07-19

申请人： 应用材料公司

发明人： 艾伦·R·波皮奥科维斯基 ,  香农·M·哈特 ,  马克·O·施韦策 ,  艾伦·B·刘 ,  詹尼弗·L·瓦茨亚 ,  布赖恩·韦斯特 ,  马克·孟席

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： B24C11/005

摘要： 本发明提供了为诸如室部件的工件表面提供纹理的方法和系统。本方法包括：将工件提供给纹理化室，并在工件表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征。所形成的特征一般是凹陷、凸起及其组合。所述室部件可以包括例如室防护件和相关组件、靶、遮蔽环、接触环、衬底支架或其他可设置在处理室内的部件。还提供了一种减少处理室内污染的方法。本方法包括：在一个或多个处理室部件的表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征；将所述一个或多个室部件置入处理室内；以及在处理室内开始进行处理工序。

公开(公告)号：CN100351998C

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200410069788.8

申请日：2004-07-19

申请人： 应用材料公司

发明人： 艾伦·R·波皮奥科维斯基 ,  香农·M·哈特 ,  马克·O·施韦策 ,  艾伦·B·刘 ,  詹尼弗·L·瓦茨亚 ,  布赖恩·韦斯特 ,  马克·孟席

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： B24C11/005

摘要： 本发明提供了为诸如室部件的工件表面提供纹理的方法和系统。本方法包括：将工件提供给纹理化室，并在工件表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征。所形成的特征一般是凹陷、凸起及其组合。所述室部件可以包括例如室防护件和相关组件、靶、遮蔽环、接触环、衬底支架或其他可设置在处理室内的部件。还提供了一种减少处理室内污染的方法。本方法包括：在一个或多个处理室部件的表面上扫掠电磁能量束，以在其上形成多个特征；将所述一个或多个室部件置入处理室内；以及在处理室内开始进行处理工序。