-
公开(公告)号：CN109599319B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201811141799.0
申请日：2013-12-17
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文提供用于处理腔室中使用的挡板盘。在某些实施方式中，处理腔室中使用的挡板盘可包括具有外周的主体、主体的顶表面与主体的底表面，其中顶表面包括具有实质上水平的平坦表面的中央部分，以及由中央部分以径向向外设置的至少一个斜角结构，每个所述至少一个斜角结构具有顶部部分以及从顶部部分往外周在径向向外方向以向下角度设置的斜角表面。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109599319A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811141799.0
申请日：2013-12-17
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文提供用于处理腔室中使用的挡板盘。在某些实施方式中，处理腔室中使用的挡板盘可包括具有外周的主体、主体的顶表面与主体的底表面，其中顶表面包括具有实质上水平的平坦表面的中央部分，以及由中央部分以径向向外设置的至少一个斜角结构，每个所述至少一个斜角结构具有顶部部分以及从顶部部分往外周在径向向外方向以向下角度设置的斜角表面。
-
公开(公告)号：CN105074867B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201380073717.2
申请日：2013-12-17
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01J37/32715 , C23C14/564 , H01J37/32477 , H01J37/32853 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3423 , H01J37/3447
Abstract: 本文提供用于处理腔室中使用的挡板盘。在某些实施方式中，处理腔室中使用的挡板盘可包括具有外周的主体、主体的顶表面与主体的底表面，其中顶表面包括具有实质上水平的平坦表面的中央部分，以及由中央部分以径向向外设置的至少一个斜角结构，每个所述至少一个斜角结构具有顶部部分以及从顶部部分往外周在径向向外方向以向下角度设置的斜角表面。
-
公开(公告)号：CN104428885B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201380034832.9
申请日：2013-07-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 振雄·马修·蔡 , 阿南塔克里希纳·朱普迪 , 罗伯特·丁斯莫尔 , 徐松文
IPC: H01L21/683 , H01L21/205 , C23C14/50
CPC classification number: H01J37/3447 , C23C14/0068 , H01J37/34
Abstract: 在此提供了挡板盘组件，所述挡板盘组件用于使用在处理腔室中，以保护设置于所述挡板盘组件之下的基板支撑件免于不希望的材料沉积。在一些实施方式中，用于使用在处理腔室中以保护设置于挡板盘组件之下的基板支撑件的一种挡板盘组件可包括：上盘构件，所述上盘构件具有顶表面和底表面；及下承载构件，所述下承载构件的至少一部分被设置于所述上盘构件的一部分之下，以支撑所述上盘构件并且产生保护性重叠区域，所述保护性重叠区域在所述上盘构件变形时防止所述基板支撑件的暴露。
-
公开(公告)号：CN105074867A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380073717.2
申请日：2013-12-17
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01J37/32715 , C23C14/564 , H01J37/32477 , H01J37/32853 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3423 , H01J37/3447
Abstract: 本文提供用于处理腔室中使用的挡板盘。在某些实施方式中，处理腔室中使用的挡板盘可包括具有外周的主体、主体的顶表面与主体的底表面，其中顶表面包括具有实质上水平的平坦表面的中央部分，以及由中央部分以径向向外设置的至少一个斜角结构，每个所述至少一个斜角结构具有顶部部分以及从顶部部分往外周在径向向外方向以向下角度设置的斜角表面。
-
公开(公告)号：CN104428885A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380034832.9
申请日：2013-07-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 振雄·马修·蔡 , 阿南塔克里希纳·朱普迪 , 罗伯特·丁斯莫尔 , 徐松文
IPC: H01L21/683 , H01L21/205 , C23C14/50
CPC classification number: H01J37/3447 , C23C14/0068 , H01J37/34
Abstract: 本发明提供了挡板盘组件，所述挡板盘组件用于使用在处理腔室中，以保护设置于所述挡板盘组件之下的基板支撑件免于不希望的材料沉积。在一些实施方式中，用于使用在处理腔室中以保护设置于挡板盘组件之下的基板支撑件的一种挡板盘组件可包括：上盘构件，所述上盘构件具有顶表面和底表面；及下承载构件，所述下承载构件的至少一部分被设置于所述上盘构件的一部分之下，以支撑所述上盘构件并且产生保护性重叠区域，所述保护性重叠区域在所述上盘构件变形时防止所述基板支撑件的暴露。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.018 seconds)
