公开(公告)号：CN103430285A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201180069452.X

申请日：2011-07-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 戴维·基思·卡尔森 ,  穆罕默德(图鲁尔)·萨米尔 ,  尼欧·谬

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4404 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/45578

Abstract: 本文所述的实施例涉及一种用于对腔室内的处理区域形成衬里的设备和方法。于一个实施例中，提供用于衬底处理腔室的模块衬里组件。所述模块衬里组件包含第一衬里和第二衬里，所述第一衬里和所述第二衬里每个包括环形主体，所述环形主体经调整尺寸以容纳于腔室的处理容积中；及至少第三衬里，所述第三衬里包括主体，所述主体通过所述第一衬里和所述第二衬里而延伸，所述第三衬里具有设置于所述处理容积中的第一端和设置于所述腔室外侧的第二端。

公开(公告)号：CN103430285B

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201180069452.X

申请日：2011-07-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 戴维·基思·卡尔森 ,  穆罕默德(图鲁尔)·萨米尔 ,  尼欧·谬

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4404 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/45578

Abstract: 本文所述的实施例涉及一种用于对腔室内的处理区域形成衬里的设备和方法。于一个实施例中，提供用于衬底处理腔室的模块衬里组件。所述模块衬里组件包含第一衬里和第二衬里，所述第一衬里和所述第二衬里每个包括环形主体，所述环形主体经调整尺寸以容纳于腔室的处理容积中；及至少第三衬里，所述第三衬里包括主体，所述主体通过所述第一衬里和所述第二衬里而延伸，所述第三衬里具有设置于所述处理容积中的第一端和设置于所述腔室外侧的第二端。