公开(公告)号：CN104335117B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201380029365.0

申请日：2013-06-04

申请人： 应用材料公司

发明人： 大卫·马克尔 ,  托马斯·莱迪格 ,  杰弗瑞·卡斯基 ,  陈正方

IPC分类号： G03B27/72 ,  G02B6/10

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G03B27/42 ,  G03F7/70291

摘要： 公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明‑投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明‑投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。

公开(公告)号：CN106168738A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610577265.7

申请日：2013-06-04

申请人： 应用材料公司

发明人： 大卫·马克尔 ,  托马斯·莱迪格 ,  杰弗瑞·卡斯基 ,  陈正方

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G03B27/42 ,  G03F7/70291

摘要： 本公开涉及一种光学投影阵列曝光系统。公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明‑投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明一投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。

公开(公告)号：CN106168738B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201610577265.7

申请日：2013-06-04

申请人： 应用材料公司

发明人： 大卫·马克尔 ,  托马斯·莱迪格 ,  杰弗瑞·卡斯基 ,  陈正方

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G03B27/42 ,  G03F7/70291

摘要： 本公开涉及一种光学投影阵列曝光系统。公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明‑投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明一投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。