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公开(公告)号：CN117916405A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280059957.6
申请日：2022-09-08
Applicant: 应用材料公司
Inventor： S·P·赫里马斯 , 哈尼什·库马尔·帕嫐瓦雷皮力·库马尔安库提 , K·奈纳·尚穆甘 , 马杜卡尔·克里什纳 , 斯里哈尔沙·达尔马普拉·撒斯亚纳拉亚纳姆西 , 斯里哈里什·斯里尼瓦桑
IPC: C23C16/455 , C23C16/507
Abstract: 本文提供了用于处理腔室的加热式盖件的实施例。在一些实施例中，加热式盖件包括：具有中心区域及周边区域的主体，其中主体包括中心区域中的中心开口，其中周边区域包括延伸进主体上表面并沿圆形布置以提供热隔断的多个垂直狭槽，且其中主体包括延伸进主体上表面的一或多个环形气室，及穿过一或多个环形气室的底表面延伸至主体下表面的多个孔；第一加热器环，具有安置在其中的一或多个加热组件，其中第一加热器环耦接到主体的中心区域；及第二加热器环，具有安置在其中的一或多个加热组件。
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