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公开(公告)号：CN218546453U
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202090001013.X
申请日：2020-10-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 梅迪·瓦泽-艾拉瓦尼 , 桑克萨·博伊亚尔 , 拉希特·夏尔马 , 赵国衡
IPC: G01N15/02 , G01N15/00
Abstract: 揭露一种用于使颗粒成像的系统及一种光强度测量系统。用于使颗粒成像的系统包括成像装置。成像装置具有透镜和检测器。激光源被配置成发射激光束。检测器被配置成累积穿过透镜的累积光的强度。累积光被颗粒散射。颗粒在给定的时段内通过激光束。
