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公开(公告)号：CN116773007A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202211020837.3
申请日：2022-08-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 徐坤 , 帕特里克·A·希加施 , 哈桑·G·伊拉瓦尼 , 哈里·Q·李 , 吴昊晟 , 埃里克·T·吴 , 崔宁卓 , 吴正勋 , 克里斯托弗·赖 , 钱隽
IPC: G01H11/06
Abstract: 使主体与抛光系统的抛光垫接触，将抛光液供应到所述抛光垫，在所述主体接触所述抛光垫时产生在所述主体与所述抛光垫之间的相对运动，在所述主体接触所述抛光垫时的所述相对运动期间生成来自原位涡电流监测系统的信号，并且基于来自所述原位涡电流监测系统的信号来检测所述抛光系统中的机械振动。
