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公开(公告)号：CN115777078A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202180045641.7
申请日：2021-05-03
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 张振毅 , 卢多维克·戈代 , 尼尔·亚哈夫 , 罗伯特·简·维瑟
IPC: G02B6/12
Abstract: 一种电光波导调制器装置包括：基板上的种晶层，种晶层具有与种晶层的表面对准的第一结晶学平面；电光通道，在种晶层上沿第一方向延伸并具有与种晶层的表面对准的第二结晶学平面；绝缘层，沿垂直于第一方向的第二方向在基板上的电光通道的两侧上；在电光通道和绝缘层上的电极阻挡层；以及在第二方向上延伸的一个或多个电极。种晶层和绝缘层各自包括折射率低于电光通道的材料。
