公开(公告)号：CN101355004A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200810134627.0

申请日：2008-07-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 沙希德·劳夫 ,  肯尼思·S·柯林斯 ,  卡洛·贝拉 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  塙广二 ,  安德鲁·源 ,  史蒂文·C·香农 ,  劳伦斯·黄 ,  小林聪 ,  特洛伊·S·德特里克 ,  詹姆斯·P·克鲁斯

IPC: H01J37/00 ,  H05H1/46 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32697 ,  H01J37/32834

Abstract: 本发明提供了用电旁路元件减小电歪斜的等离子体反应器。通过设置旁路电流路径来将RF接地返回电流从反应器室的非对称特征绕开。一种旁路电流路径避开了室底板中的泵送端口，并包括从侧壁向接地的基座基部延伸的导电对称格栅。另一种旁路电流路径避开了晶片狭缝阀，并包括导电带的阵列，导电带的阵列将狭缝阀占据的侧壁部分桥接。

公开(公告)号：CN101355004B

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200810134627.0

申请日：2008-07-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 沙希德·劳夫 ,  肯尼思·S·柯林斯 ,  卡洛·贝拉 ,  卡尔蒂克·贾亚拉曼 ,  塙广二 ,  安德鲁·源 ,  史蒂文·C·香农 ,  劳伦斯·黄 ,  小林聪 ,  特洛伊·S·德特里克 ,  詹姆斯·P·克鲁斯

IPC: H01J37/00 ,  H05H1/46 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32697 ,  H01J37/32834

Abstract: 本发明提供了用电旁路元件减小电歪斜的等离子体反应器。通过设置旁路电流路径来将RF接地返回电流从反应器室的非对称特征绕开。一种旁路电流路径避开了室底板中的泵送端口，并包括从侧壁向接地的基座基部延伸的导电对称格栅。另一种旁路电流路径避开了晶片狭缝阀，并包括导电带的阵列，导电带的阵列将狭缝阀占据的侧壁部分桥接。