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公开(公告)号：CN109844171A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780061663.6
申请日：2017-10-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述用于将在群集工具的相邻的处理腔室之间的电磁干扰最小化的方法和设备。基于主处理腔室的电磁工艺窗口、第一相邻的处理腔室和可选择的第二相邻的处理腔室的电磁窗口来控制主配方的开始时间。控制主处理腔室的开始时间以避免主腔室的电磁窗口与相邻的腔室的电磁窗口的时间重叠。
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