公开(公告)号：CN111033683A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880046250.5

申请日：2018-07-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 艾琳娜·H·威索克 ,  希兰库玛·萨万戴亚 ,  安东尼·陈志东 ,  宋焦 ,  帕拉沙特·帕布

IPC: H01J37/34

Abstract: 本文提供了磁控管组件的实施方式和包含该磁控管组件的处理系统。在一些实施方式中，磁控管组件包括：沿磁控管组件的中心轴延伸的主体；冷却剂供给结构，沿中心轴延伸穿过主体以沿中心轴向冷却剂供给结构下方的区域提供冷却剂；和可旋转磁体组件，连接到主体的底部并具有多个磁体。在一些实施方式中，可旋转磁体组件配置成垂直移动。

公开(公告)号：CN111033683B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201880046250.5

申请日：2018-07-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 艾琳娜·H·威索克 ,  希兰库玛·萨万戴亚 ,  安东尼·陈志东 ,  宋焦 ,  帕拉沙特·帕布

IPC: H01J37/34

Abstract: 本文提供了磁控管组件的实施方式和包含该磁控管组件的处理系统。在一些实施方式中，磁控管组件包括：沿磁控管组件的中心轴延伸的主体；冷却剂供给结构，沿中心轴延伸穿过主体以沿中心轴向冷却剂供给结构下方的区域提供冷却剂；和可旋转磁体组件，连接到主体的底部并具有多个磁体。在一些实施方式中，可旋转磁体组件配置成垂直移动。