公开(公告)号：CN110226222A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201880007192.5

申请日：2018-01-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大卫·班杰明森 ,  肯·沙茨 ,  德米特里·卢博米尔斯基

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 一种用于基板支撑组件的加热器组件，包含柔性主体。加热器组件进一步包含设置在柔性主体中的一或多个电阻式加热元件。加热器组件进一步包含第一金属层，第一金属层设置在柔性主体的顶表面上，并至少部分延伸至柔性主体的外侧壁上。加热器组件进一步包含第二金属层，第二金属层设置在柔性主体的底表面上，并至少部分延伸至柔性主体的外侧壁上，其中第二金属层在柔性主体的外侧壁处耦合至第一金属层，使得第一金属层与第二金属层包围柔性主体的外侧壁，并在柔性主体的外侧壁周围形成连续导电路径。

公开(公告)号：CN110226222B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN201880007192.5

申请日：2018-01-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大卫·班杰明森 ,  肯·沙茨 ,  德米特里·卢博米尔斯基

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 一种用于基板支撑组件的加热器组件，包含柔性主体。加热器组件进一步包含设置在柔性主体中的一或多个电阻式加热元件。加热器组件进一步包含第一金属层，第一金属层设置在柔性主体的顶表面上，并至少部分延伸至柔性主体的外侧壁上。加热器组件进一步包含第二金属层，第二金属层设置在柔性主体的底表面上，并至少部分延伸至柔性主体的外侧壁上，其中第二金属层在柔性主体的外侧壁处耦合至第一金属层，使得第一金属层与第二金属层包围柔性主体的外侧壁，并在柔性主体的外侧壁周围形成连续导电路径。