公开(公告)号：CN107278174A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201680006569.6

申请日：2016-01-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 戴维·阿尔瓦雷斯 ,  吉米·K·阿特金森

IPC: B08B1/04 ,  H01L21/67

CPC classification number: B08B1/002 ,  B08B1/04 ,  B08B11/02 ,  B08B13/00 ,  B29C43/021 ,  B29C2043/024 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/029 ,  B29K2027/12 ,  B29K2075/00 ,  B29L2031/7728 ,  H01L21/67046

Abstract: 公开了采用具有摩擦增强图案的周边表面在湿式化学工艺期间接触基板的压模制品。例如环形主体的制品可借助压模技术形成。通过包含图案化表面作为环形主体的外周边的一部分，所述环形主体和基板之间的摩擦接触可被增强，因为与湿式化学工艺相关联的减少摩擦的流体可被导引而离开所述环形主体与所述基板之间的所期望之摩擦接触区域。如此，摩擦接触可被增强，并且所述基板可有效地在湿式化学工艺期间被定位并被移动，以改善工艺的效率。

公开(公告)号：CN107278174B

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201680006569.6

申请日：2016-01-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 戴维·阿尔瓦雷斯 ,  吉米·K·阿特金森

IPC: B08B1/04 ,  H01L21/67

Abstract: 公开了采用具有摩擦增强图案的周边表面在湿式化学工艺期间接触基板的压模制品。例如环形主体的制品可借助压模技术形成。通过包含图案化表面作为环形主体的外周边的一部分，所述环形主体和基板之间的摩擦接触可被增强，因为与湿式化学工艺相关联的减少摩擦的流体可被导引而离开所述环形主体与所述基板之间的所期望之摩擦接触区域。如此，摩擦接触可被增强，并且所述基板可有效地在湿式化学工艺期间被定位并被移动，以改善工艺的效率。

公开(公告)号：CN113733431A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202110879792.4

申请日：2016-01-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 戴维·阿尔瓦雷斯 ,  吉米·K·阿特金森

IPC: B29C43/02 ,  B08B1/04 ,  B08B11/02 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67 ,  B29K27/12 ,  B29K75/00

Abstract: 公开了采用具有摩擦增强图案的周边表面在湿式化学工艺期间接触基板的压模制品。例如环形主体的制品可借助压模技术形成。通过包含图案化表面作为环形主体的外周边的一部分，所述环形主体和基板之间的摩擦接触可被增强，因为与湿式化学工艺相关联的减少摩擦的流体可被导引而离开所述环形主体与所述基板之间的所期望之摩擦接触区域。如此，摩擦接触可被增强，并且所述基板可有效地在湿式化学工艺期间被定位并被移动，以改善工艺的效率。