公开(公告)号：CN115769334A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202180041117.2

申请日：2021-05-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 菲利普·艾伦·克劳斯 ,  罗伯特·穆尔 ,  詹姆斯·卡达希 ,  理查德·福维尔 ,  萨提亚·斯瓦鲁普·甘塔 ,  卡蒂基扬·巴拉拉曼 ,  西尔瓦斯特·罗德里格斯

IPC: H01J37/32

Abstract: 本文公开的实施方式包括一种模块化微波源阵列。在一实施方式中，用于源阵列的外壳组件包含第一导电层，其中第一导电层包含第一热膨胀系数(CTE)；和第二导电层，在第一导电层上方，其中第二导电层包含不同于第一CTE的第二CTE。在一实施方式中，外壳组件进一步包含复数个开口，所述复数个开口穿过外壳组件，其中每个开口穿过第一导电层和第二导电层。

公开(公告)号：CN119816936A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202380063546.9

申请日：2023-01-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 石川哲也 ,  阿拉·莫拉迪亚 ,  卡蒂基扬·巴拉拉曼 ,  沙希坎特·钦纳科沙娃

IPC: H01L21/687 ,  C30B25/12

Abstract: 描述了一种用于在沉积腔室内旋转基板的设备。所述基板使用具有轴件及耦接到所述轴件的顶部的基座的基板支撑组件旋转。所述基座及所述轴件使用啮合特征耦接在一起。所述啮合特征包括在轴件的耦接部分上的多个齿或突起，这些齿或突起与基座的底部上设置的凹槽互锁。升降销组件进一步耦接到所述轴件并且被配置为从基座升高及降低基板。