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公开(公告)号：CN113891957A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202080038268.8
申请日：2020-05-19
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿什托西·阿咖瓦 , 桑吉夫·巴鲁贾 , 德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 , 卡蒂克·萨哈 , 夏艳君
IPC: C23C16/455
Abstract: 提供了气体分配设备，具有：喷头，具有间隔开以形成气体空间的前板及背板，前板具有邻近气体空间的内表面及有多个孔延伸穿过其中的外表面，气体空间具有中心区域及外部区域；第一入口，与气体空间的中心区域流体连通，入口具有内侧及外侧；以及混合器，在入口内侧上设置以增加气体流温度。还提供了处理腔室设备及沉积膜的方法。
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