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公开(公告)号：CN116848618A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202280012909.1
申请日：2022-01-11
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 蔡泰正 , 克里斯蒂安·巴伦西亚 , 王赤矿 , 贝纳切克·梅巴克 , 哈恩·阮 , 菲利普·艾伦·克劳斯
IPC: H01L21/285
Abstract: 本文公开的实施方式包括用于沉积石墨烯层的方法和设备。在一个实施方式中，一种在基板上沉积石墨烯层的方法包含：在模块化微波等离子体腔室之内提供基板，并且将碳源和氢源流入模块化微波等离子体腔室中。在一个实施方式中，方法进一步包含在模块化微波等离子体腔室中触发等离子体，其中基板温度低于约400℃，并且在基板上沉积石墨烯层。
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