公开(公告)号：CN116018425A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202180054211.1

申请日：2021-12-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 段仁官 ,  克里斯托弗·劳伦特·博德瑞 ,  格伦·T·莫里

IPC: C23C16/44

Abstract: 本公开内容的实施方式涉及用金属氟化物涂层涂布腔室部件的制品、涂布的腔室部件、方法及系统，所述金属氟化物涂层包括至少一种化学式为M1xFw、M1xM2yFw或M1xM2yM3zFw的金属氟化物，其中M1、M2或M3中的至少一者是镍。金属氟化物涂层可直接形成在基板上或基板的涂层上。

公开(公告)号：CN307160264S

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202130388221.1

申请日：2021-06-22

Applicant: 应用材料公司

Designer： 约瑟夫·弗雷德里克·本克 ,  特雷弗·威兰特维奇 ,  克里斯托弗·劳伦特·博德瑞 ,  蒂莫西·道格拉斯·托思 ,  斯科特·奥斯特曼

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于工艺腔室部件的封装插入物。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作在半导体加工机械设备中使用的用于工艺腔室部件的封装插入物。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。
5.指定设计1为基本设计。