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公开(公告)号：CN112782941A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011231914.0
申请日：2020-11-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 梅迪·瓦泽-艾拉瓦尼 , 克里斯多弗·丹尼斯·本彻 , 克里希纳·斯雷兰姆巴特拉 , 侯赛因·法瓦兹 , 莱奥·恩格尔 , 罗伯特·珀尔穆特
IPC: G03F7/20
Abstract: 公开了一种操作多小束带电粒子装置的方法。在所述方法中，平移附接到台的靶，并且重复选择小束、初始化小束和使靶曝光的每个步骤。选择小束的步骤包括使可重新配置的多个所选择的小束通过消隐电路。初始化小束的步骤包括使所选择的小束中的每一个指向在初始方向上。使靶曝光的步骤包括使所选择的小束中的每一个从初始方向扫描到最终方向，并且用所选择的小束辐照在台上的靶的多个区域。
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