公开(公告)号：CN107078054A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052467.3

申请日：2015-10-09

申请人： 应用材料公司

发明人： 兰加·拉奥·阿内帕利 ,  罗伯特·简·维瑟 ,  拉杰夫·巴贾 ,  达尔尚·撒卡尔 ,  普莉娜·古拉迪雅 ,  乌代·马哈詹 ,  阿卜杜尔·沃布·穆罕默德

IPC分类号： H01L21/3105

CPC分类号： C09G1/02 ,  C01B33/149 ,  C01F17/0043 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/04 ,  C01P2004/52 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  C01P2004/84 ,  C01P2004/88 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1445 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

摘要： 一种用于化学机械平坦化的浆料，该浆料包含表面活性剂及平均直径介于20nm至30nm之间且具有氧化铈外表面的研磨粒子。这些研磨粒子是使用水热合成工艺所形成。这些研磨粒子占该浆料的0.1重量％至3重量％。