公开(公告)号：CN110660694B

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201910549754.5

申请日：2019-06-24

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 约坦·索弗 ,  波阿斯·科恩 ,  萨尔·沙比 ,  伊莱·布克曼

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/95

摘要： 可以在半导体晶片处识别候选缺陷。可以关于在所述半导体晶片处的所述候选缺陷是对应于系统缺陷还是随机缺陷做出确定。响应于确定在所述半导体晶片处的所述候选缺陷对应于系统缺陷，可以将在所述半导体晶片处的所述候选缺陷提供到缺陷审查工具以供所述缺陷审查工具审查。

公开(公告)号：CN110660694A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910549754.5

申请日：2019-06-24

申请人： 应用材料以色列公司

发明人： 约坦·索弗 ,  波阿斯·科恩 ,  萨尔·沙比 ,  伊莱·布克曼

IPC分类号： H01L21/66 ,  G01N21/95

摘要： 可以在半导体晶片处识别候选缺陷。可以关于在所述半导体晶片处的所述候选缺陷是对应于系统缺陷还是随机缺陷做出确定。响应于确定在所述半导体晶片处的所述候选缺陷对应于系统缺陷，可以将在所述半导体晶片处的所述候选缺陷提供到缺陷审查工具以供所述缺陷审查工具审查。