传感器芯片结构、传感器芯片制备方法及气体传感器

    公开(公告)号:CN118604066B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202411067192.8

    申请日:2024-08-06

    IPC分类号: G01N27/12 G01N27/22

    摘要: 本发明提供了一种气体传感器芯片结构、传感器芯片制备方法及气体传感器,该结构包括基底、电极组件和气敏膜;所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间存在位面差;所述气敏膜设置在所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间,能够保证气敏膜维持较小体积的前提下,提高所述第一叉状电极和第二叉状电极的连接稳定性,降低气敏膜的厚度控制难度,同时提高响应速度。

    传感器芯片封装结构、传感器芯片封装方式及气体传感器

    公开(公告)号:CN118604066A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202411067192.8

    申请日:2024-08-06

    IPC分类号: G01N27/12 G01N27/22

    摘要: 本发明提供了一种气体传感器芯片封装结构、传感器芯片封装方式及气体传感器,该封装结构包括基底、电极组件和气敏膜;所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间存在位面差;所述气敏膜设置在所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间,能够保证气敏膜维持较小体积的前提下,提高所述第一叉状电极和第二叉状电极的连接稳定性,降低气敏膜的厚度控制难度,同时提高响应速度。

    一种半导体式气体传感器及设有其的气体检测器件

    公开(公告)号:CN115575461A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202211203220.5

    申请日:2022-09-29

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明公开了一种半导体式气体传感器,包括基底,所述基底上依次设置有加热层、电极层和气敏材料层,所述加热层具有设在首尾方向上的连接端,所述电极层至少包括两组相互错开设置的电极,所述电极均具有设在首尾方向上的连接端,且所述电极的连接端与所述加热层的连接端相互错开;所述气敏材料层涂覆于基底上,且覆盖所述电极之间的相邻连接端,以使每个电极之间电性连通。本发明还公开了一种设有上述半导体气体传感器的气体检测器件。与现有技术相比,本发明的气体传感器结构简单,体积小,灵敏度好,稳定性高,适用于产品进一步小型化。本发明的气体检测器件集成度高、使用方便、精确度高,更符合用户所需。

    流量传感器标定夹具及其系统

    公开(公告)号:CN112595391B

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202011393027.3

    申请日:2020-12-03

    IPC分类号: G01F25/10

    摘要: 本发明公开了一种流量传感器标定夹具及其系统,所述流量传感器标定夹具包括夹具体、止动体、滑动体以及滑轨,所述夹具体沿所述滑轨方向的两端分别与所述止动体和所述滑动体相对接以构成供通气的线性管道,所述滑轨供所述夹具体与所述滑动体线性运动以实现对接和分离所述线性管道,所述夹具体包括实现其两端对调的旋转结构以及与所述线性管道相连通导气、用于容置流量传感器的放置部。流量传感器标定夹具可使构成一线性管道用于导通气体标定放置于放置部的流量传感器,夹具体可通过旋转结构转换方向,提高了标定流量传感器的正确度。流量传感器标定夹具系统具有多个流量传感器标定夹具,可同时标定多个流量传感器,提升了标定流量传感器的效率。

    热差压流量传感器
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214224225U

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202023350430.6

    申请日:2020-12-31

    IPC分类号: G01F1/34 G01F1/69

    摘要: 本实用新型提供了一种热差压流量传感器,其包括壳体、传感集成组件以及层流元件;壳体内设有导气道,导气道的两端分别对应连通进气道和出气道,进气道的另一端连通用于输气的管道,以将管道内流通的气流引入导气道;出气道另一端与管道连通,以将导气道内的气体排出至管道;层流元件设置于管道内,用于改变该管道气体流通路径上的部分气体的流向,将该部分气体导入进气道;传感集成组件设置于导气道内,其包括两个沿导气道流通路径顺次设置的、用于检测气体温度的热敏电阻,该传感集成组件将该两个热敏电阻之间的温度差值转换为气压信息输出。热差压流量传感器通过导气道、进气道及出气道从管道内引入和回输气体,传感集成组件检测管道气体气压。

    颗粒物传感器
    7.
    外观设计

    公开(公告)号:CN307000750S

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202130578708.6

    申请日:2021-09-02

    摘要: 1.本外观设计产品的名称:颗粒物传感器。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计用于检测空气中颗粒物浓度,为空气质量监测及改善提供数据依据。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。

    二氧化碳传感器
    8.
    外观设计

    公开(公告)号:CN307000748S

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202130578416.2

    申请日:2021-09-02

    摘要: 1.本外观设计产品的名称:二氧化碳传感器。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计用于检测二氧化碳气体浓度,为空气质量监测及改善提供数据依 据。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。