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公开(公告)号:CN118604066B
公开(公告)日:2024-10-18
申请号:CN202411067192.8
申请日:2024-08-06
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
摘要: 本发明提供了一种气体传感器芯片结构、传感器芯片制备方法及气体传感器,该结构包括基底、电极组件和气敏膜;所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间存在位面差;所述气敏膜设置在所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间,能够保证气敏膜维持较小体积的前提下,提高所述第一叉状电极和第二叉状电极的连接稳定性,降低气敏膜的厚度控制难度,同时提高响应速度。
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公开(公告)号:CN118604066A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202411067192.8
申请日:2024-08-06
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
摘要: 本发明提供了一种气体传感器芯片封装结构、传感器芯片封装方式及气体传感器,该封装结构包括基底、电极组件和气敏膜;所述电极组件包括第一叉状电极和第二叉状电极,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极均设置在基底上,所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间存在位面差;所述气敏膜设置在所述第一叉状电极和所述第二叉状电极之间,能够保证气敏膜维持较小体积的前提下,提高所述第一叉状电极和第二叉状电极的连接稳定性,降低气敏膜的厚度控制难度,同时提高响应速度。
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公开(公告)号:CN115575461A
公开(公告)日:2023-01-06
申请号:CN202211203220.5
申请日:2022-09-29
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号: G01N27/12
摘要: 本发明公开了一种半导体式气体传感器,包括基底,所述基底上依次设置有加热层、电极层和气敏材料层,所述加热层具有设在首尾方向上的连接端,所述电极层至少包括两组相互错开设置的电极,所述电极均具有设在首尾方向上的连接端,且所述电极的连接端与所述加热层的连接端相互错开;所述气敏材料层涂覆于基底上,且覆盖所述电极之间的相邻连接端,以使每个电极之间电性连通。本发明还公开了一种设有上述半导体气体传感器的气体检测器件。与现有技术相比,本发明的气体传感器结构简单,体积小,灵敏度好,稳定性高,适用于产品进一步小型化。本发明的气体检测器件集成度高、使用方便、精确度高,更符合用户所需。
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公开(公告)号:CN112595391B
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202011393027.3
申请日:2020-12-03
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号: G01F25/10
摘要: 本发明公开了一种流量传感器标定夹具及其系统,所述流量传感器标定夹具包括夹具体、止动体、滑动体以及滑轨,所述夹具体沿所述滑轨方向的两端分别与所述止动体和所述滑动体相对接以构成供通气的线性管道,所述滑轨供所述夹具体与所述滑动体线性运动以实现对接和分离所述线性管道,所述夹具体包括实现其两端对调的旋转结构以及与所述线性管道相连通导气、用于容置流量传感器的放置部。流量传感器标定夹具可使构成一线性管道用于导通气体标定放置于放置部的流量传感器,夹具体可通过旋转结构转换方向,提高了标定流量传感器的正确度。流量传感器标定夹具系统具有多个流量传感器标定夹具,可同时标定多个流量传感器,提升了标定流量传感器的效率。
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公开(公告)号:CN115773795A
公开(公告)日:2023-03-10
申请号:CN202211480358.X
申请日:2022-11-24
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
摘要: 本申请公开一种测量气体流量和VOC浓度的传感器,包括膜式流量传感器主体结构,还包括位于所述流量传感器主体结构上的电容结构以及覆盖在所述电容结构上的金属氧化物薄膜,所述流量传感器包括基板、位于基板的悬浮薄膜,设置在悬浮薄膜上的加热电阻和至少一组位于加热电阻外侧的测温电阻,所述加热电阻上方覆盖有绝缘薄膜,所述电容结构位于所述绝缘薄膜上方。本申请测量气体流量和VOC浓度的传感器,通过整体结构的设计将气体流量传感器和VOC浓度传感器集成一体,同时可以实现对测量气体流量和VOC气体浓度,实现集成化和小型化。
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公开(公告)号:CN214224225U
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202023350430.6
申请日:2020-12-31
申请人: 广州奥松电子股份有限公司
发明人: 张宾 , 马鹏飞 , 邱国财 , 刘光亮 , 郭林林 , 曾伟东 , 李国宁 , 许文吉 , 奉贞丽 , 陈维孝 , 陈新准 , 刘新雅 , 张运龙 , 何伟生 , 郑晓银 , 傅王勇 , 黄达荣
摘要: 本实用新型提供了一种热差压流量传感器,其包括壳体、传感集成组件以及层流元件;壳体内设有导气道,导气道的两端分别对应连通进气道和出气道,进气道的另一端连通用于输气的管道,以将管道内流通的气流引入导气道;出气道另一端与管道连通,以将导气道内的气体排出至管道;层流元件设置于管道内,用于改变该管道气体流通路径上的部分气体的流向,将该部分气体导入进气道;传感集成组件设置于导气道内,其包括两个沿导气道流通路径顺次设置的、用于检测气体温度的热敏电阻,该传感集成组件将该两个热敏电阻之间的温度差值转换为气压信息输出。热差压流量传感器通过导气道、进气道及出气道从管道内引入和回输气体,传感集成组件检测管道气体气压。
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