公开(公告)号：CN113511625B

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202110466010.4

申请日：2021-04-28

Applicant: 广州大学

Inventor： 张成云 ,  胡琦 ,  郭浩民 ,  林茹

IPC: B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/352

Abstract: 本发明公开了一种胖瘦条纹结构及其制备方法，该制备方法，包括：在金膜样品的金膜上表面覆盖一玻片，将金膜样品放置在移动平台，飞秒激光微加工系统输出的飞秒脉冲激光聚焦到金膜样品，控制移动平台在X‑Y‑Z轴三个方向移动，进行二维移动线扫描，在金膜上制备微纳周期结构，即“胖瘦条纹”结构。本发明通过控制玻片与金膜的接触夹角可以诱导出不同角度的倾斜分布的胖瘦周期条纹，本发明的加工方法具有方便、快速、人为可控等特点。

公开(公告)号：CN113061839B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202110466005.3

申请日：2021-04-28

Applicant: 广州大学

Inventor： 张成云 ,  林茹 ,  张绍林 ,  刘佐濂 ,  吴润民

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/24 ,  C23C14/35 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N27/04

Abstract: 本发明公开了一种电阻型纳米结构氢气传感器的制备方法，包括：S1，利用飞秒脉冲激光在硅样品衬底上诱导出随机分布的纳米凸起结构；S2，利用磁控溅射设备在覆盖纳米突起的硅表面溅射CuO纳米薄膜；S3，利用真空热蒸发镀膜技术在CuO纳米薄膜料表面蒸镀一层钯膜；S4，在镀好钯膜的硅样品两端制备铟电极后，制备出电阻型氢气传感器。本发明利用飞秒脉冲激光可以方便快速的在硅表面诱导出大面积随机分布的纳米突起结构，结合磁控溅射和热蒸发镀上氢敏材料钯后，获得比较大的表面积和体积比，从而可以实现氢气传感器件的制备。

公开(公告)号：CN113511625A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110466010.4

申请日：2021-04-28

Applicant: 广州大学

Inventor： 张成云 ,  胡琦 ,  郭浩民 ,  林茹

IPC: B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/352

Abstract: 本发明公开了一种胖瘦条纹结构及其制备方法，该制备方法，包括：在金膜样品的金膜上表面覆盖一玻片，将金膜样品放置在移动平台，飞秒激光微加工系统输出的飞秒脉冲激光聚焦到金膜样品，控制移动平台在X‑Y‑Z轴三个方向移动，进行二维移动线扫描，在金膜上制备微纳周期结构，即“胖瘦条纹”结构。本发明通过控制玻片与金膜的接触夹角可以诱导出不同角度的倾斜分布的胖瘦周期条纹，本发明的加工方法具有方便、快速、人为可控等特点。

公开(公告)号：CN113061839A

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202110466005.3

申请日：2021-04-28

Applicant: 广州大学

Inventor： 张成云 ,  林茹 ,  张绍林 ,  刘佐濂 ,  吴润民

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/24 ,  C23C14/35 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N27/04

Abstract: 本发明公开了一种电阻型纳米结构氢气传感器的制备方法，包括：S1，利用飞秒脉冲激光在硅样品衬底上诱导出随机分布的纳米凸起结构；S2，利用磁控溅射设备在覆盖纳米突起的硅表面溅射CuO纳米薄膜；S3，利用真空热蒸发镀膜技术在CuO纳米薄膜料表面蒸镀一层钯膜；S4，在镀好钯膜的硅样品两端制备铟电极后，制备出电阻型氢气传感器。本发明利用飞秒脉冲激光可以方便快速的在硅表面诱导出大面积随机分布的纳米突起结构，结合磁控溅射和热蒸发镀上氢敏材料钯后，获得比较大的表面积和体积比，从而可以实现氢气传感器件的制备。