梯度自掺杂纯相多元金属氧化物薄膜的磁控溅射制备方法

    公开(公告)号:CN109576659A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201910022023.5

    申请日:2019-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种梯度自掺杂纯相多元金属氧化物薄膜的磁控溅射制备方法,采用磁控共溅射法,靶A和靶B分别采用独立的直流溅射电源,并利用溅射功率渐变控制器控制共溅射过程中靶A和靶B的起始溅射功率和功率渐变速率,调控薄膜中金属离子的比例;通过在共溅射过程中控制靶A和靶B溅射组分的溅射功率,从薄膜底部至薄膜顶部形成金属离子A/B比例的梯度变化,在多元金属氧化缺陷容忍度范围内实现金属A/B比例的可控调节,在抑制杂相析出的前提下,制备梯度自掺杂纯相多元金属氧化物。

    梯度自掺杂多元金属氧化物半导体薄膜的喷雾热解制备方法

    公开(公告)号:CN109930135A

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201910245436.X

    申请日:2019-03-28

    Abstract: 本发明公开了一种梯度自掺杂多元金属氧化物AxByOz半导体薄膜的喷雾热解制备方法,利用给液流速渐控制器变精确控制A、B前驱体溶液的给液速率,通过调节起始给液速率和给液流速渐变速率,在镀膜过程中调控金属离子的比例,在抑制A或B的一元金属氧化物杂相析出的前提下,实现不同厚度薄膜底部至顶部之间金属离子A/B比例梯度的可控调节,制备从薄膜底部至顶部A/B比例梯度、厚度皆可控的梯度自掺杂多元金属氧化物AxByOz半导体薄膜,该技术不需要依靠高温热扩散辅助形成金属离子A/B可控比例梯度,可以有效避免高温热辅助喷雾热解法中A/B比例梯度不可控、容易出现A或B的一元金属氧化物相分离问题。

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