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公开(公告)号：CN107464970A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710703585.7
申请日：2017-08-16
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供一种铁电微波滤波器，包括金属腔体、设置在金属腔体内的介质谐振器、复合在腔体内壁上的Bi2NiMnO6薄膜器件以及设置在腔壁上的调谐螺丝；所述Bi2NiMnO6薄膜器件包括依次复合的衬底、底电极、Bi2NiMnO6薄膜和顶电极。本发明采用TE01δ模介质谐振腔滤波器，以Bi2NiMnO6薄膜为滤波器的介电材料，提高了滤波器的介电常数和调谐率，并且由于使用了高介电调谐Bi2NiMnO6薄膜材料，节约了材料用量，使制造成本明显下降。实验结果表明，本申请中的滤波器介电常数为5～18，介电调谐率为70～93％。
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