公开(公告)号：CN111704391B

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202010609978.3

申请日：2020-06-29

Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院

Inventor： 张海波 ,  范鹏元 ,  南博 ,  李利松 ,  刘凯 ,  肖建中 ,  郭新 ,  卢亚 ,  张国军 ,  尹玲

IPC: C04B26/12 ,  C04B20/10 ,  B28D5/02

Abstract: 本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法，原料包括树脂、金刚石、无机填料和造孔剂，经过混料、填料、热压、二次硬化等步骤制作，并使用其特制模具制成，模具包括两个压型模、设置在两个压型模中间的外型模及设置在压型模下端的内型模；内型模包括底板和均匀固定在底板上端面的内型限位柱；压型模包括上和均匀固定在上板端面的压型管，内型限位柱外径与压型管内径相匹配；外型模包括中板和均匀开设在中板上的外型孔，压型管的外径与外型孔内径相匹配。本发明可制备一种具有超高形位精度，切缝表面质量，机械性能和寿命的超薄金刚石划片。

公开(公告)号：CN111792931B

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202010672862.4

申请日：2020-07-14

Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院

Inventor： 张海波 ,  范鹏元 ,  南博 ,  李利松 ,  肖建中 ,  郭新 ,  卢亚 ,  张国军

IPC: C04B35/475 ,  C04B35/622 ,  H01G4/12

Abstract: 本发明公开一种复合陶瓷材料及其制备方法，该复合陶瓷材料由0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3‑0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3粉体和氮化硼颗粒按照化学式0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3‑0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3/BN所制成，所述0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3‑0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3粉体是由Bi2O3、Na2CO3、SrCO3、TiO2根据化学式0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3‑0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3进行配料后混合而成。本发明所制成的复合陶瓷材料兼具高储能密度和高储能效率，可用于制造大功率介电储能器件。

公开(公告)号：CN111792931A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010672862.4

申请日：2020-07-14

Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院

Inventor： 张海波 ,  范鹏元 ,  南博 ,  李利松 ,  肖建中 ,  郭新 ,  卢亚 ,  张国军

IPC: C04B35/475 ,  C04B35/622 ,  H01G4/12

Abstract: 本发明公开一种复合陶瓷材料及其制备方法，该复合陶瓷材料由0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3-0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3粉体和氮化硼颗粒按照化学式0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3-0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3/BN所制成，所述0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3-0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3粉体是由Bi2O3、Na2CO3、SrCO3、TiO2根据化学式0.5（Bi0.5Na0.5）TiO3-0.5（Sr0.7Bi0.2）TiO3进行配料后混合而成。本发明所制成的复合陶瓷材料兼具高储能密度和高储能效率，可用于制造大功率介电储能器件。

公开(公告)号：CN111704391A

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN202010609978.3

申请日：2020-06-29

Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院

Inventor： 张海波 ,  范鹏元 ,  南博 ,  李利松 ,  刘凯 ,  肖建中 ,  郭新 ,  卢亚 ,  张国军 ,  尹玲

IPC: C04B26/12 ,  C04B20/10 ,  B28D5/02

Abstract: 本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种金刚石陶瓷复合划片刀及其制备方法，原料包括树脂、金刚石、无机填料和造孔剂，经过混料、填料、热压、二次硬化等步骤制作，并使用其特制模具制成，模具包括两个压型模、设置在两个压型模中间的外型模及设置在压型模下端的内型模；内型模包括底板和均匀固定在底板上端面的内型限位柱；压型模包括上和均匀固定在上板端面的压型管，内型限位柱外径与压型管内径相匹配；外型模包括中板和均匀开设在中板上的外型孔，压型管的外径与外型孔内径相匹配。本发明可制备一种具有超高形位精度，切缝表面质量，机械性能和寿命的超薄金刚石划片。