公开(公告)号：CN119571274A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411688075.3

申请日：2024-11-25

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 黄能舟 ,  李粮任 ,  周国川 ,  赵玉

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明属于TCO薄膜制备技术领域，公开了一种高结晶度TCO薄膜及其制备方法，该高结晶度TCO薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤1：通过低温磁控溅射法在基底温度为100‑200℃的条件下沉积TCO薄膜；步骤2：将TCO薄膜在氮气环境下以300‑400℃的退火温度进行第一次退火处理；步骤3：将第一次退火处理后的TCO薄膜在氧气环境下以180‑400℃的退火温度进行第二次退火处理，得到高结晶度TCO薄膜。本发明公开了一种高结晶度TCO薄膜的制备方法，特定的基底温度下进行溅射沉积得到TCO薄膜，然后搭配特定的退火工艺，有效提高了TCO薄膜的结晶度，从而提高了光学和电学性能。

公开(公告)号：CN120040073A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510292745.8

申请日：2025-03-12

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 周国川 ,  赵玉 ,  黄能舟 ,  唐涛

IPC: C03B33/08 ,  C03C15/00

Abstract: 本发明涉及可折叠玻璃技术领域，公开了一种可折叠玻璃的制备方法，包括以下步骤：步骤1：采用皮秒级固体激光器对钠钙玻璃的折弯位置进行打孔切割；步骤2：切割完成后，把钠钙玻璃浸入酸性溶液中腐蚀并采用超声波振动以使切割区域内的废料脱落，得到目标玻璃。本制备方法可以把钠钙玻璃的崩边的长度降到＜3μm、钠钙玻璃加工区的透过率保持在95％以上，提高钠钙玻璃切割的良品率。同时，还提供了一种可折叠玻璃。

公开(公告)号：CN119491198A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202411727419.7

申请日：2024-11-28

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 李粮任 ,  方奕锟 ,  赵玉 ,  韦启杏

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/18 ,  C03C17/245 ,  C03C17/09

Abstract: 本发明公开了一种膜层结构及其制备方法、光电器件，涉及磁控溅射镀膜技术领域；膜层结构包括设于金属膜和基板之间的氧化铟掺杂氧化钛氧化钽氧化铈薄膜，可以有效增强金属膜和基板之间的附着力，还包括设于金属膜表面的氧化铟掺杂氧化钛氧化钽氧化铈薄膜，可以有效保护金属膜免受高温和水汽的侵蚀；本发明提出的膜层结构适合通过磁控溅射的方法制备。