公开(公告)号：CN110129766A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910501608.5

申请日：2019-06-11

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 牛晓东 ,  赵青松 ,  何志达 ,  朱刘

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26 ,  C23C16/40 ,  C30B11/00 ,  C30B29/08

Abstract: 本发明提供镀膜装置以及石英舟表面镀覆系统。镀膜装置包括喷头，喷头设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一通道、第二通道和第三通道，喷头具有第一端和第二端，第一端具有第一端面，第一端面设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一喷口、第二喷口和第三喷口，第一喷口呈封闭的连续的环形，第二喷口沿周向整圈分布，第一喷口与第一通道连通，第二喷口与第二通道连通，第三喷口与第三通道连通，第一通道用于连通于提供具有压力和速度的保护气体的保护气体源，第二通道用于连通于提供具有压力和速度的氧气的氧气源，第三通道用于连通于提供具有压力和速度的形成镀膜的组分的气体的组分源。由此能提高在石英舟上镀覆的镀膜的牢固性。

公开(公告)号：CN110129766B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201910501608.5

申请日：2019-06-11

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 牛晓东 ,  赵青松 ,  何志达 ,  朱刘

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26 ,  C23C16/40 ,  C30B11/00 ,  C30B29/08

Abstract: 本发明提供镀膜装置以及石英舟表面镀覆系统。镀膜装置包括喷头，喷头设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一通道、第二通道和第三通道，喷头具有第一端和第二端，第一端具有第一端面，第一端面设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一喷口、第二喷口和第三喷口，第一喷口呈封闭的连续的环形，第二喷口沿周向整圈分布，第一喷口与第一通道连通，第二喷口与第二通道连通，第三喷口与第三通道连通，第一通道用于连通于提供具有压力和速度的保护气体的保护气体源，第二通道用于连通于提供具有压力和速度的氧气的氧气源，第三通道用于连通于提供具有压力和速度的形成镀膜的组分的气体的组分源。由此能提高在石英舟上镀覆的镀膜的牢固性。

公开(公告)号：CN210098980U

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201920683630.1

申请日：2019-05-14

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 黄杰杰 ,  李清宇 ,  何志达 ,  牛晓东

IPC: B22F9/08

Abstract: 本实用新型提出一种高纯锡粒的制备装置，其包括一制粒装置以及一还原装置，所述制粒装置包括一石英漏斗、一石英坩埚、一冷却水池以及用于给石英漏斗加热的加热器，所述石英坩埚内盛有冷却剂，所述冷却水池内盛有冷却水，所述石英坩埚置于冷却水池内的冷却水中，所述石英漏斗位于石英坩埚正上方；所述还原装置包括一石英管和置于石英管中央的一石英舟，与石英舟对应的石英管1管壁上包覆设置一加热套，所述加热套和部分石英管位于一保温炉内，所述石英管两端分别设置有一进气口和一出气口。本高纯锡粒的制备装置，结构合理、操作简单，能够制备含碳量和含氧量均低于5ppm的高纯锡粒，完全符合硫系玻璃行业对高纯锡粒低碳低氧的要求。