化学气相沉积炉
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104342631B

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201310314093.0

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 本发明提供了一种化学气相沉积炉,其包括:炉体;上炉盖,设置在炉体上部,与炉体密封且可拆装式固定连接;下炉盖,设置在炉体下部,与炉体密封可拆装式固定连接;以及下炉盖升降机构,与下炉盖固定连接,以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括:前后推送机构,设置于下炉盖的正下方,前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围,以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此,能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位;出装料安全、可靠,操作方便;炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。

    化学气相沉积炉
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104342631A

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201310314093.0

    申请日:2013-07-24

    CPC classification number: C23C16/00 C23C16/44

    Abstract: 本发明提供了一种化学气相沉积炉,其包括:炉体;上炉盖,设置在炉体上部,与炉体密封且可拆装式固定连接;下炉盖,设置在炉体下部,与炉体密封可拆装式固定连接;以及下炉盖升降机构,与下炉盖固定连接,以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括:前后推送机构,设置于下炉盖的正下方,前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围,以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此,能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位;出装料安全、可靠,操作方便;炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。

    化学气相沉积炉
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203393225U

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201320444384.7

    申请日:2013-07-24

    Abstract: 本实用新型提供了一种化学气相沉积炉,其包括:炉体;上炉盖,设置在炉体上部,与炉体密封且可拆装式固定连接;下炉盖,设置在炉体下部,与炉体密封可拆装式固定连接;以及下炉盖升降机构,与下炉盖固定连接,以使下炉盖在脱开固定的炉体后带动下炉盖降落以进行下出料、以及带动出料后的下炉盖上升以与炉体结合。所述化学气相沉积炉还可包括:前后推送机构,设置于下炉盖的正下方,前后推送机构使下炉盖升降机构带动下降的下炉盖落在其上并前后移动到至外围,以进行出装料。炉体、上炉盖、下炉盖均可采用水冷夹层、保温层。由此,能够避免在反复拆装的过程中炉体的相互错位;出装料安全、可靠,操作方便;炉内的热场稳定并提高了高温工作安全性。

    石墨搅拌桨
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203990501U

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201420469019.6

    申请日:2014-08-19

    Inventor: 朱巨才 朱刘 刘留

    Abstract: 本实用新型提供了一种石墨搅拌桨,其包括:桨叶部,形成有多排混流孔,各排混流孔成不同倾斜角度地沿厚度方向穿设于桨叶部。桨叶部形成有多排成不同倾斜角度的混流孔,搅拌时用于引导被搅拌物(如金属液体)的流动方向,使之能充分混合均匀,从而达到优良的搅拌效果,而且结构简单、易于加工制造、牢固耐用。

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