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公开(公告)号：CN106289055A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510303609.0
申请日：2015-06-05
Applicant: 并木精密宝石株式会社
Abstract: 在使探头进入到被测量物的内周面或深孔内径中、用来将由内面反射的光线立体地取入而观察及测量精度的光学式内面测量装置中，能够进行更高精度的测量。在具备内置在管中的光纤、配置在该光纤的前端侧的光路变换机构和使该光路变换机构旋转驱动的马达的构造中，具有测量马达的旋转轴部的振动量的机构。通过用位移测量机构的位移量数据修正由计算机计算来自被检查物的反射光得到的被检查物的内周面的形状数据，消除马达的旋转轴的振动或旋转振动带来的测量误差，能够进行高精度的测量。
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