一种立式镀膜机工件转架传动装置

    公开(公告)号:CN102864434A

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201210323945.8

    申请日:2012-09-05

    IPC分类号: C23C14/50

    摘要: 本发明涉及机械传动领域,主要用于立式双开门镀膜机的工件转架传动部件中。包括转架拨杆、转动盘、自转轴、小齿轮、轴承、大齿轮、转臂、磁流体、固定块组成,其主要特点在于转架旋转时减少拨杆与转臂间的摩擦而带来的磨损及由于摩擦带来的转动力的损耗。使用时磁流体将旋转动力从室体外传入真空室体内,通过转臂、波动转架拨杆,带动传动盘转动,传动盘上带有自转轴及小齿轮,而大齿轮通过固定块固定在室体上,传动盘在轴承上旋转,通过几个自转轴及小齿轮围绕大齿轮圆周向定位,从而实现转架的公、自转。这种装置的优点在于:这种结构简单、传动稳定,转架的中心主要与大齿轮中心定位,动力传动入口对转架中心影响不大,适合工业化生产。

    一种高真空系统密封装置

    公开(公告)号:CN102829196A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210323935.4

    申请日:2012-09-05

    IPC分类号: F16K1/20 F16K31/12 F16K51/02

    摘要: 本发明公开了一种高真空系统密封装置,其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵,所述的冷凝罩中装有低温盘管;所述的高真空翻板阀包括:驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板,所述的驱动气缸由自动控制动作,驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成,通导能力达到90%以上,生产效率高,也可根据生产及设备的本身需要,可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外,阀板会自行关闭,将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离,起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响,且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。