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公开(公告)号:CN102829004B
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201210324787.8
申请日:2012-09-05
IPC分类号: F04F9/08
摘要: 本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法,包括油扩散泵系统,油扩散泵系统具有油扩散泵,油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通,还包括控制系统,控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置,控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb,控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力,并与设定的临界压力和防爆压力进行比较,若检测到危险做出相应的处理,避免油扩散泵发生爆炸。
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公开(公告)号:CN102864434A
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN201210323945.8
申请日:2012-09-05
IPC分类号: C23C14/50
摘要: 本发明涉及机械传动领域,主要用于立式双开门镀膜机的工件转架传动部件中。包括转架拨杆、转动盘、自转轴、小齿轮、轴承、大齿轮、转臂、磁流体、固定块组成,其主要特点在于转架旋转时减少拨杆与转臂间的摩擦而带来的磨损及由于摩擦带来的转动力的损耗。使用时磁流体将旋转动力从室体外传入真空室体内,通过转臂、波动转架拨杆,带动传动盘转动,传动盘上带有自转轴及小齿轮,而大齿轮通过固定块固定在室体上,传动盘在轴承上旋转,通过几个自转轴及小齿轮围绕大齿轮圆周向定位,从而实现转架的公、自转。这种装置的优点在于:这种结构简单、传动稳定,转架的中心主要与大齿轮中心定位,动力传动入口对转架中心影响不大,适合工业化生产。
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公开(公告)号:CN102829196A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201210323935.4
申请日:2012-09-05
摘要: 本发明公开了一种高真空系统密封装置,其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵,所述的冷凝罩中装有低温盘管;所述的高真空翻板阀包括:驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板,所述的驱动气缸由自动控制动作,驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成,通导能力达到90%以上,生产效率高,也可根据生产及设备的本身需要,可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外,阀板会自行关闭,将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离,起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响,且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。
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公开(公告)号:CN102858077B
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201210323963.6
申请日:2012-09-05
摘要: 本发明公开了一种双面翻转门结构等离子清洗设备,包括真空系统,其主要特点在于由作为主泵的罗茨泵和作为前级泵的螺杆泵及粗抽阀门组成;门,其主要特点是一块平板,其上装有灯具挂具组件;真空室体,其主要特点在于主体是一个壳体,其上有密封圈、抽气口、观察窗、大气点测量点、充气装置、规管接口、包括精密气体质量流量计的掺气装置;铰链;挂具组件;高压引入;支架;极板;铰链固定板;铰链轴;铰链板;定位装置;转轴;把手;计算机控制系统。这种装置的优点在于通过本设备处理的灯具真空镀膜后膜基结合力及反光率较传统设备处理过的灯具有显著提高。本发明与传统设备相比结构简单,占地面积更小,生产周期更短,效率更高。
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公开(公告)号:CN102858077A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201210323963.6
申请日:2012-09-05
摘要: 本发明公开了一种双面翻转门结构等离子清洗设备,包括真空系统,其主要特点在于由作为主泵的罗茨泵和作为前级泵的螺杆泵及粗抽阀门组成;门,其主要特点是一块平板,其上装有灯具挂具组件;真空室体,其主要特点在于主体是一个壳体,其上有密封圈、抽气口、观察窗、大气点测量点、充气装置、规管接口、包括精密气体质量流量计的掺气装置;铰链;挂具组件;高压引入;支架;极板;铰链固定板;铰链轴;铰链板;定位装置;转轴;把手;计算机控制系统。这种装置的优点在于通过本设备处理的灯具真空镀膜后膜基结合力及反光率较传统设备处理过的灯具有显著提高。本发明与传统设备相比结构简单,占地面积更小,生产周期更短,效率更高。
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公开(公告)号:CN102829004A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201210324787.8
申请日:2012-09-05
IPC分类号: F04F9/08
摘要: 本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法,包括油扩散泵系统,油扩散泵系统具有油扩散泵,油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通,还包括控制系统,控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置,控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb,控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力,并与设定的临界压力和防爆压力进行比较,若检测到危险做出相应的处理,避免油扩散泵发生爆炸。
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公开(公告)号:CN102828160A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201210323947.7
申请日:2012-09-05
IPC分类号: C23C14/56
摘要: 本发明公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端,电源接入口外设有防护罩,电压导出端的端口设有高压触头,整个装置通过电极座固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端为3级绝缘防护结构,所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构,隔套的材质为聚四氟乙烯,且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构,该方案绝缘性能好,结构简单,且不易破损。完全满足工艺需要,有力减少了设备故障率,提高工艺可靠性和稳定性。
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公开(公告)号:CN202865331U
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201220448042.8
申请日:2012-09-05
IPC分类号: C23C14/56
摘要: 本实用新型公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端,电源接入口外设有防护罩,电压导出端的端口设有高压触头,整个装置通过电极座固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端为3级绝缘防护结构,所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构,隔套的材质为聚四氟乙烯,且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构,该方案绝缘性能好,结构简单,且不易破损。完全满足工艺需要,有力减少了设备故障率,提高工艺可靠性和稳定性。
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公开(公告)号:CN202812405U
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201220448034.3
申请日:2012-09-05
摘要: 本实用新型公开了一种高真空系统密封装置,其特征在于,包括:真空室体、高真空翻板阀、低温盘管、冷凝罩和扩散泵,所述的冷凝罩中装有低温盘管;所述的高真空翻板阀包括:驱动气缸、气缸转臂、阀板固定臂、阀板调整机构、阀板调平轴、阀板,所述的驱动气缸由自动控制动作,驱动气缸驱动气缸转臂和阀板固定臂动作。真空翻板阀在真空状态启闭过程中瞬时完成,通导能力达到90%以上,生产效率高,也可根据生产及设备的本身需要,可界定其不同大小的通导能力。如果操作过程中出现停电或意外,阀板会自行关闭,将真空室体大气一端和油扩散泵及深冷扑集装置进行隔离,起到安全保护深冷系统不被暴露大气和升温影响,且保护真空扩散泵泵油不易氧化的作用。
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公开(公告)号:CN202811555U
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201220448022.0
申请日:2012-09-05
IPC分类号: F04F9/00
摘要: 本实用新型公开了一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,包括KF拉伸弯头、KF密封组件、KF转接规管过渡装置、规管,KF转接规管装置通过KF密封组件连接在KF拉伸弯头上,KF拉伸弯头的另一端焊接在扩散泵前级口上,且弯头的方向向上。规管安装在KF转接规管装置上。采用这样的结构,本实用新型补充泵油方便简单,补充泵油时方便观察,同时兼有压力监测的作用,拆卸安装方便简单。
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