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发明公开
真空质量测量系统失效转让

公开(公告)号：CN102612641A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201080050648.X

申请日：2010-11-08

Applicant: 布鲁克机械公司

Inventor： 葛拉多·A·布鲁克尔 , 小肯尼斯·D·凡安特卫普

IPC: G01L21/00 , G01J3/28 , G01N21/25 , H01L21/66

CPC classification number: G01M3/226 , G01M3/205 , G01M3/229 , G01M3/34

Abstract: 一种用于真空室的气体分析器包含处理电子器件，其经配置以接收质谱数据，接收所述真空室中的总压力的输入，接收来自至少一个传感器的外部输入，且使用所述质谱数据、所述真空室中的所述总压力以及来自所述至少一个传感器的所述外部输入来基于至少一个质量准则计算真空质量指数。

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