传感器集成式触觉设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN106547343A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201610301210.3

    申请日:2016-05-09

    Abstract: 提供了传感器集成式触觉设备、用于制造传感器集成式触觉设备的方法以及包括传感器集成式触觉设备的电子设备。具体地,传感器集成式触觉设备包括传感器和形成为布置成与传感器在同一平面上的致动器,并且传感器和致动器中的每一个包括通过第一工艺形成的下电极、通过第二工艺形成在下电极上的离子弹性体层以及通过第三工艺形成在离子弹性体层上的上电极。

    传感器集成式触觉设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN106547343B

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201610301210.3

    申请日:2016-05-09

    Abstract: 提供了传感器集成式触觉设备、用于制造传感器集成式触觉设备的方法以及包括传感器集成式触觉设备的电子设备。具体地,传感器集成式触觉设备包括传感器和形成为布置成与传感器在同一平面上的致动器,并且传感器和致动器中的每一个包括通过第一工艺形成的下电极、通过第二工艺形成在下电极上的离子弹性体层以及通过第三工艺形成在离子弹性体层上的上电极。

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