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公开(公告)号：CN114112159B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202111408448.3
申请日：2021-11-25
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01L5/1627
Abstract: 本发明公开了一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器，从下至上依次由下电极板层、敏感单元层、上电极板层以及表面凸起层构成；上电极板层包括下柔性衬底和下电极板，上电极板层包括上电极板和上柔性衬底；上电极板和下电极板均包括2×2排列的四块正方形结构，每个正方形结构均通过导线引出；敏感单元层包括2×2排列的四个敏感单元，每个敏感单元包括一个弹簧状结构和圆柱体支撑柱，可以敏感的感知微小力，具有良好的压缩和拉伸性能；表面凸起层正四棱台结构，可以放大微小力使敏感单元形变量变大。本发明的传感器采用独特的三维立体结构可以实现三维力的检测，可以应用于环境监测、机电监测、农业生产、航天军事等领域。
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公开(公告)号：CN114705226A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210328096.9
申请日：2022-03-30
Applicant: 山东科技大学
Abstract: 本发明公开了一种接近‑触觉双模态柔性传感器的制备方法及其传感器，制备方法包括以下步骤：制备介电层和基底，介电层表面具有半球体阵列的微结构；制备上下电极层，将电极导线与上下电极层相连，最后封装传感器。接近觉传感器由上电极层组成，触觉传感器由上电极层、介电层和下电极层组成，从而实现了单一传感器对接近和触觉的感知。本发明采取离子溅射的工艺制备电极层，电极层附着性强，介电层表面具有半球体微结构，有效提升触觉传感器的灵敏度。传感器制作工艺简单，成本较低，可大规模生产。
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公开(公告)号：CN114112159A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111408448.3
申请日：2021-11-25
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01L5/1627
Abstract: 本发明公开了一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器，从下至上依次由下电极板层、敏感单元层、上电极板层以及表面凸起层构成；上电极板层包括下柔性衬底和下电极板，上电极板层包括上电极板和上柔性衬底；上电极板和下电极板均包括2×2排列的四块正方形结构，每个正方形结构均通过导线引出；敏感单元层包括2×2排列的四个敏感单元，每个敏感单元包括一个弹簧状结构和圆柱体支撑柱，可以敏感的感知微小力，具有良好的压缩和拉伸性能；表面凸起层正四棱台结构，可以放大微小力使敏感单元形变量变大。本发明的传感器采用独特的三维立体结构可以实现三维力的检测，可以应用于环境监测、机电监测、农业生产、航天军事等领域。
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