公开(公告)号：CN115683404B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202211343406.0

申请日：2022-10-28

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 张鹏 ,  黄梁松 ,  张坤 ,  王刚强 ,  李玉霞

IPC: G01L1/20 ,  G01L9/02

Abstract: 本发明提供了一种基于仿生多级结构的柔性压阻式传感器，包括：自上而下设置的上封装层，传感器主体和下封装层，传感器主体由两片交叉叠放的薄膜电极层构成，薄膜电极层由基底层和附在基底层上的电极层构成，薄膜电极层上还具有凸起结构，两个凸起结构贴合设置，传感器主体上连接有两导线。本发明的技术方案克服现有技术中传感器日益微型化、集成化、低成本化的问题。

公开(公告)号：CN114112159A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111408448.3

申请日：2021-11-25

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 黄梁松 ,  张坤 ,  张鹏 ,  姚永杰 ,  林格羽 ,  隋华磊 ,  王刚强 ,  步晓飞 ,  王硕 ,  黄鑫

IPC: G01L5/1627

Abstract: 本发明公开了一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器，从下至上依次由下电极板层、敏感单元层、上电极板层以及表面凸起层构成；上电极板层包括下柔性衬底和下电极板，上电极板层包括上电极板和上柔性衬底；上电极板和下电极板均包括2×2排列的四块正方形结构，每个正方形结构均通过导线引出；敏感单元层包括2×2排列的四个敏感单元，每个敏感单元包括一个弹簧状结构和圆柱体支撑柱，可以敏感的感知微小力，具有良好的压缩和拉伸性能；表面凸起层正四棱台结构，可以放大微小力使敏感单元形变量变大。本发明的传感器采用独特的三维立体结构可以实现三维力的检测，可以应用于环境监测、机电监测、农业生产、航天军事等领域。

公开(公告)号：CN115752822A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211331267.X

申请日：2022-10-28

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 黄梁松 ,  王刚强 ,  张坤 ,  张鹏 ,  李玉霞 ,  步晓飞 ,  黄鑫

IPC: G01L1/20 ,  B29C64/10 ,  B29C64/379 ,  B33Y10/00 ,  B33Y40/20 ,  B33Y80/00

Abstract: 本发明公开了一种基于3D打印的多重蛇形电阻式柔性传感器，涉及柔性传感器技术领域，该电阻式柔性传感器包括柔性传感器主体、金属电极以及导线，柔性传感器主体呈蛇形结构，蛇形结构包括若干个大S形结构，每个大S形结构又由若干个小S形结构连接而成，构成多重蛇形结构。传感器主体由内到外依次为基底层、电极层和封装层，柔性传感器主体两端依次连接金属电极和导线。该柔性传感器通过多重机械形变来测量拉伸应变。本发明对柔性传感器的结构进行了研究及设计，通过工艺的调控，使得所述柔性传感器可以实现对不同拉伸范围的测量，且制备简单，成本较低。

公开(公告)号：CN114112159B

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202111408448.3

申请日：2021-11-25

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 黄梁松 ,  张坤 ,  张鹏 ,  姚永杰 ,  林格羽 ,  隋华磊 ,  王刚强 ,  步晓飞 ,  王硕 ,  黄鑫

IPC: G01L5/1627

Abstract: 本发明公开了一种基于弹簧状敏感单元的电阻式柔性三维力传感器，从下至上依次由下电极板层、敏感单元层、上电极板层以及表面凸起层构成；上电极板层包括下柔性衬底和下电极板，上电极板层包括上电极板和上柔性衬底；上电极板和下电极板均包括2×2排列的四块正方形结构，每个正方形结构均通过导线引出；敏感单元层包括2×2排列的四个敏感单元，每个敏感单元包括一个弹簧状结构和圆柱体支撑柱，可以敏感的感知微小力，具有良好的压缩和拉伸性能；表面凸起层正四棱台结构，可以放大微小力使敏感单元形变量变大。本发明的传感器采用独特的三维立体结构可以实现三维力的检测，可以应用于环境监测、机电监测、农业生产、航天军事等领域。

公开(公告)号：CN115683404A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211343406.0

申请日：2022-10-28

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 张鹏 ,  黄梁松 ,  张坤 ,  王刚强 ,  李玉霞

IPC: G01L1/20 ,  G01L9/02

Abstract: 本发明提供了一种基于仿生多级结构的柔性压阻式传感器，包括：自上而下设置的上封装层，传感器主体和下封装层，传感器主体由两片交叉叠放的薄膜电极层构成，薄膜电极层由基底层和附在基底层上的电极层构成，薄膜电极层上还具有凸起结构，两个凸起结构贴合设置，传感器主体上连接有两导线。本发明的技术方案克服现有技术中传感器日益微型化、集成化、低成本化的问题。

公开(公告)号：CN114705226A

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202210328096.9

申请日：2022-03-30

Applicant: 山东科技大学

Inventor： 黃梁松 ,  张坤 ,  张鹏 ,  隋华磊 ,  姚永杰 ,  王刚强 ,  李玉霞

IPC: G01D5/24 ,  G01L1/14 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种接近‑触觉双模态柔性传感器的制备方法及其传感器，制备方法包括以下步骤：制备介电层和基底，介电层表面具有半球体阵列的微结构；制备上下电极层，将电极导线与上下电极层相连，最后封装传感器。接近觉传感器由上电极层组成，触觉传感器由上电极层、介电层和下电极层组成，从而实现了单一传感器对接近和触觉的感知。本发明采取离子溅射的工艺制备电极层，电极层附着性强，介电层表面具有半球体微结构，有效提升触觉传感器的灵敏度。传感器制作工艺简单，成本较低，可大规模生产。