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公开(公告)号:CN111351848B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN202010196266.3
申请日:2020-03-19
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01N29/036 , G01N29/22
Abstract: 本发明属于即时检验技术领域,特别涉及一种用于心脏损伤早期标志物检测的传感器的制备方法、通过该制备方法制得的传感器以及该传感器的检测方法。其中,通过制备方法制得的传感器(由于压电薄膜谐振器尺寸较小,仅为毫米量级)尺寸较小,利于采用半导体工艺进行大规模及低成本制造,可集成于可穿戴电子设备或其他小型电子设备中;另外,通过制备方法制得的传感器,基于质量敏感原理进行心脏损伤早期标志物检测,降低了液体样品本身的干扰,利于提高心脏损伤早期标志物检测的精度;此外,本发明还提出了一种基于以上制备方法制得的传感器的检测方法,利于实现对心脏损伤早期标志物的实时测量。
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公开(公告)号:CN111351848A
公开(公告)日:2020-06-30
申请号:CN202010196266.3
申请日:2020-03-19
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01N29/036 , G01N29/22
Abstract: 本发明属于即时检验技术领域,特别涉及一种用于心脏损伤早期标志物检测的传感器的制备方法、通过该制备方法制得的传感器以及该传感器的检测方法。其中,通过制备方法制得的传感器(由于压电薄膜谐振器尺寸较小,仅为毫米量级)尺寸较小,利于采用半导体工艺进行大规模及低成本制造,可集成于可穿戴电子设备或其他小型电子设备中;另外,通过制备方法制得的传感器,基于质量敏感原理进行心脏损伤早期标志物检测,降低了液体样品本身的干扰,利于提高心脏损伤早期标志物检测的精度;此外,本发明还提出了一种基于以上制备方法制得的传感器的检测方法,利于实现对心脏损伤早期标志物的实时测量。
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公开(公告)号:CN110701992A
公开(公告)日:2020-01-17
申请号:CN201910956935.X
申请日:2019-10-10
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明涉及柔性应变传感器技术领域,提供了一种以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法。本发明在硬质基板上制造敏感层和电极结构后再进行分离,可以获得较低的传感器厚度,以及具有更好的柔性,易于将传感器安装在关节、皮肤、骨骼等复杂曲面。可采用成熟的柔性电路板(FPCB)技术制造表面有电极的聚酰亚胺(PI)薄膜,电极阵列制备简单,重复性高、电阻小,且拉伸状态电学连接稳定;聚酰亚胺层被刻蚀后,仅保留较薄的金属电极贴合与敏感层表面,其微结构化产生的效果更加明显;敏感层可实现多层微结构累加,适合更宽的检测范围和应用环境。
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公开(公告)号:CN110701992B
公开(公告)日:2020-07-24
申请号:CN201910956935.X
申请日:2019-10-10
Applicant: 山东科技大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明涉及柔性应变传感器技术领域,提供了一种以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法。本发明在硬质基板上制造敏感层和电极结构后再进行分离,可以获得较低的传感器厚度,以及具有更好的柔性,易于将传感器安装在关节、皮肤、骨骼等复杂曲面。可采用成熟的柔性电路板(FPCB)技术制造表面有电极的聚酰亚胺(PI)薄膜,电极阵列制备简单,重复性高、电阻小,且拉伸状态电学连接稳定;聚酰亚胺层被刻蚀后,仅保留较薄的金属电极贴合与敏感层表面,其微结构化产生的效果更加明显;敏感层可实现多层微结构累加,适合更宽的检测范围和应用环境。
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