公开(公告)号：CN117457469A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311456089.8

申请日：2023-11-03

Applicant: 山东微波电真空技术有限公司 ,  济钢防务技术有限公司

Inventor： 高闿阅 ,  张欣玲 ,  刘昊 ,  史永康 ,  李淑娟 ,  陈书超

IPC: H01J41/12

Abstract: 本发明公开了一种抽气性能可调的溅射离子泵，涉及电真空技术领域，包括溅射离子泵外壳体，所述溅射离子泵外壳体的顶端通过螺栓固定安装有抽气管，抽气机构，所述抽气机构包括导电板和固定阴极板，所述导电板通过螺栓固定安装在溅射离子泵外壳体的内部底端。本发明通过提供一款抽速、极限真空等抽气性能可调的溅射离子泵，可以减少配套真空泵的使用，实现一泵多用，将不同的阳极环尺寸、极间距离和磁场强度组合在同一个泵壳中，可以实现在不同使用条件下调整选择最优的设计参数，实现最佳的抽气效果，使得溅射离子泵可在不同的真空环境下、不同的真空获得阶段中可以自由调节抽气性能，不仅提高了抽气效率，缩小了设备体积，还降低了使用成本。

公开(公告)号：CN116288240A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310230607.8

申请日：2023-03-07

Applicant: 山东微波电真空技术有限公司

Inventor： 高闿阅 ,  陈书超 ,  肖新来 ,  周金 ,  张毅 ,  董金伟 ,  高志强 ,  张彬

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/46 ,  C23C16/04 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明属于行波管加工技术领域，具体提供了一种衰减器加工方法及设备，包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构，外壳内部形成真空腔室；供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体；加热机构设于真空腔室中，加热机构能够向外辐射热量；夹持机构能够定位夹持杆，以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面，进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量；加热机构具有楔形导热板，楔形导热板的外侧面形成加热面，楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化，以调节夹持杆任意位置与加热面的距离，进而调节夹持杆不同位置的温度。

公开(公告)号：CN220091768U

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202320349697.8

申请日：2023-02-24

Applicant: 山东微波电真空技术有限公司

Inventor： 高闿阅 ,  陈书超 ,  肖新来 ,  周金 ,  董金伟 ,  高志强 ,  张志强 ,  张彬

IPC: B05B13/02

Abstract: 本实用新型属于行波管制造技术领域，具体提供了一种衰减器用碳膜涂覆装置，包括外壳、旋转工作台、真空涂覆组件和多个夹持组件，外壳用于提供真空腔室；旋转工作台设于真空腔室中，旋转工作台能够沿设定竖向轴线转动；多个夹持组件安装于旋转工作台处，多个夹持组件相对于竖向轴线呈圆周布置，夹持组件能够沿竖向夹持待涂覆碳膜的夹持杆，夹持组件能够带动被夹持的夹持杆绕自身轴线自转；真空涂覆组件设于真空腔室中，真空涂覆组件具有涂覆空间，涂覆空间中具有沿设定方向喷涂碳膜的喷嘴，旋转工作台能够通过旋转使得多个夹持组件处的夹持杆依次进入涂覆空间。本实用新型便于同时完成多个夹持杆的碳膜喷涂。