公开(公告)号：CN103347809B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201280007435.8

申请日：2012-01-05

Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司

Inventor： P·卡森 ,  D·理查德 ,  P·杜博瓦

IPC: B81C99/00

CPC classification number: B81B1/006 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00634 ,  B81C99/0085 ,  Y10T74/19949

Abstract: 本发明涉及一种用单件材料生产微机械零件（11，21，31，41，51，61）的方法。该方法包括以下步骤：a）形成基材（1），所述基材包括用于制造所述微机械零件的负腔（3）；b）用材料的层（5）覆盖基材（1）的所述负腔；c）从基材（1）移除比所沉积的层（5）的厚度（e1）更大的厚度（e2），从而留下所述所沉积的层的位于所述负腔中的部分；d）移除基材（1），从而释放在所述负腔中形成的微机械零件（11，21，31，41，51，61）。

公开(公告)号：CN103347809A

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201280007435.8

申请日：2012-01-05

Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司

Inventor： P·卡森 ,  D·理查德 ,  P·杜博瓦

IPC: B81C99/00

CPC classification number: B81B1/006 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00634 ,  B81C99/0085 ,  Y10T74/19949

Abstract: 本发明涉及一种用单件材料生产微机械零件（11，21，31，41，51，61）的方法。该方法包括以下步骤：a）形成基材（1），所述基材包括用于制造所述微机械零件的负腔（3）；b）用材料的层（5）覆盖基材（1）的所述负腔；c）从基材（1）移除比所沉积的层（5）的厚度（e1）更大的厚度（e2），从而留下所述所沉积的层的位于所述负腔中的部分；d）移除基材（1），从而释放在所述负腔中形成的微机械零件（11，21，31，41，51，61）。

公开(公告)号：CN102627254A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210024520.7

申请日：2012-02-03

Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司

Inventor： P·卡森 ,  D·理查德 ,  P·杜博瓦

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  B81B2201/035

Abstract: 本发明涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法。根据本发明，所述方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11，31，41)。

公开(公告)号：CN102627254B

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201210024520.7

申请日：2012-02-03

Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司

Inventor： P·卡森 ,  D·理查德 ,  P·杜博瓦

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  B81B2201/035

Abstract: 本发明涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法。根据本发明，所述方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11，31，41)。