公开(公告)号：CN102693847A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210083679.6

申请日：2012-03-22

Applicant: 小岛冲压工业株式会社

Inventor： 早川宗孝 ,  伊藤薰 ,  高桥康彦

IPC: H01G13/00

CPC classification number: C23C16/545 ,  B05D1/60 ,  B05D7/04 ,  B05D7/50 ,  B05D2252/02 ,  C23C14/562 ,  C23C16/042

Abstract: 本发明涉及用于生产层压主体的设备。具体地，本发明提供一种可稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体的设备。该设备包括：膜状基材供应装置(46)，其将膜状基材(15)供应到真空室(24)中的转动鼓(35)的外周表面上；多个吹出构件(64)，其围绕转动鼓(35)定位，多个吹出构件的每个包括在真空室(24)内侧开放至转动鼓(35)的所述外周表面的蒸汽出口(66)和构成沉积室的内部空间；以及至少一个单体蒸汽供应装置(48)，其布置成将多种单体蒸汽供应到沉积室中并将多种单体蒸汽从多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。

公开(公告)号：CN102693847B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201210083679.6

申请日：2012-03-22

Applicant: 小岛冲压工业株式会社

Inventor： 早川宗孝 ,  伊藤薰 ,  高桥康彦

IPC: H01G13/00

CPC classification number: C23C16/545 ,  B05D1/60 ,  B05D7/04 ,  B05D7/50 ,  B05D2252/02 ,  C23C14/562 ,  C23C16/042

Abstract: 本发明涉及用于生产层压主体的设备。具体地，本发明提供一种可稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体的设备。该设备包括：膜状基材供应装置(46)，其将膜状基材(15)供应到真空室(24)中的转动鼓(35)的外周表面上；多个吹出构件(64)，其围绕转动鼓(35)定位，多个吹出构件的每个包括在真空室(24)内侧开放至转动鼓(35)的所述外周表面的蒸汽出口(66)和构成沉积室的内部空间；以及至少一个单体蒸汽供应装置(48)，其布置成将多种单体蒸汽供应到沉积室中并将多种单体蒸汽从多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。