公开(公告)号：CN1580864A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN200410058855.6

申请日：2004-08-02

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 野口胜 ,  石川弘美

IPC: G02B26/08 ,  B41J2/47

CPC classification number: G03F7/70791 ,  B41J2/465

Abstract: 本发明提供一种曝光头，第1微透镜阵列中排列有多个对应于DMD中的多个微镜的第1微聚光器件。设置了包括分别对应于多个第1微聚光器件而排列的多个小孔的小孔阵列。小孔阵列只让夫琅和费衍射像的主要部分透过。从小孔中透过的夫琅和费衍射像的主要部分，被第2微透镜阵列的第2微聚光器件成像在曝光面上。本发明的曝光头，能够有效地减少干扰光以及散射光，并将通过小孔阵列而投影在曝光面上的光束点的光束直径调整为所期望的大小。

公开(公告)号：CN100363776C

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200410058855.6

申请日：2004-08-02

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 野口胜 ,  石川弘美

IPC: G02B26/08 ,  B41J2/47 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70791 ,  B41J2/465

Abstract: 本发明提供一种曝光头，第1微透镜阵列中排列有多个对应于DMD中的多个微镜的第1微聚光器件。设置了包括分别对应于多个第1微聚光器件而排列的多个小孔的小孔阵列。小孔阵列只让夫琅和费衍射像的主要部分透过。从小孔中透过的夫琅和费衍射像的主要部分，被第2微透镜阵列的第2微聚光器件成像在曝光面上。本发明的曝光头，能够有效地减少干扰光以及散射光，并将通过小孔阵列而投影在曝光面上的光束点的光束直径调整为所期望的大小。