公开(公告)号：CN1345480A

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：CN00805024.4

申请日：2000-01-14

Applicant: 密执安大学评议会

Inventor： C·T·C·恩古芸 ,  M·麦科克代尔 ,  K·王

IPC: H03H9/24

CPC classification number: H03H9/24 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0072 ,  H03H3/0078 ,  H03H9/2452 ,  H03H9/462 ,  H03H9/465

Abstract: 用多晶硅表面微加工工艺制造一种弯曲振动的微机构谐振器,该谐振器采用非侵入的支持构件在30～90MHz的VHF频率取得高达8400的Q值。本发明还公开一种增加谐振器以及其它类似微机构谐振器操作频率的方法。方法的一个实施例称作差动信号法。方法的另一实施例称作微凹部下降法。支承构件包括形为梁的一个或多个扭转式支承簧(16),这种梁由于四分之一波长阻力变换而可有效地使谐振器梁与其锚定件18隔振,可尽可能减小锚定损耗,并可使谐振器达到高的Q值,而且在VHF频率范围内具有高度刚性。谐振器还包括一个或多个形成在弯曲谐振梁(12)或底衬上的形为微凹部的间隔器(26)。在操作时,微凹部(26)确定谐振器的电容换能器间隙。当在驱动电极(20)和谐振梁(12)之间加上大的直流偏压时,该微凹部(26)在弯曲谐振器梁(12)和驱动电极(20)之间形成预定的最小距离。